2024年02月28日
株式会社アイテス
『ダイナミックSIMS』は、試料中に含まれる微量の全元素(H〜U)を ppmからppbの高感度で検出することができる二次イオン質量分析法です。 定性分析及び深さ方向分析ができ、加えて標準試料による高精度な定量分析が 可能。(当社の協力会社での分析実施) 最小ビーム径は約30um、材質によってさらにビーム径を落とすことが できます。
ガラス、金属、セラミックス、Si、化合物半導体、浅いインプラントなどの分析に好適！
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
TOF-SIMSは軽元素、無機物から分子量の大きい有機物まで分析可能です。
・TOF－SIMSはパルス状の一次イオンを照射し 励起放出されたイオンの飛行時間により質量分析を行います。 ・質量の大きなイオンほど、検出器に到達する時間が長くなり 質量の分離が出来ます。
有機物分析の例としてポリエチレングリコールを分析した事例をご紹介いたします
TOF-SIMSの分析感度はppmオーダーと高感度であるため、微量汚染の分析に有効です！
感度よく検出することが可能！TOF-SIMSとSEM-EDXでLiの分析を比較した事例をご紹介
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