EBSD法による解析例
EBSDパターン(菊池パターン)、金ワイヤーボンド接合部の解析例をご紹介します
EBSD(電子線後方散乱回折)法は、電子線照射により得られた反射電子回折 パターンから個々の結晶の方位情報を取得しマップ化したもので、さらに 定量的、統計的なデータとして結晶方位(配向性)のみならず結晶粒分布や 応力ひずみ等の材料組織状態を調べる手法です。 例えば、SEM中で試料を大きく傾斜し電子線を照射したとき、試料が結晶性 の物であれば、試料内で電子線回折が生じます。そのパターンを指数付け することでその点の結晶方位を求めることが可能となります。 結晶方位差を観察することで、結晶粒内の残留応力を推測することができます。 【特長】 ■個々の結晶の方位情報を取得しマップ化 ■結晶方位、結晶粒分布や応力ひずみ等の材料組織状態を調べる ■結晶方位差を観察することで、結晶粒内の残留応力を推測可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【金ワイヤーボンド接合部 解析例】 ■逆極点図方位マップ(Inverse Pole Figure:IPFマップ) ■逆極点図を基にした結晶方位マップ ■Grain Reference Orientation Deviation:GRODマップ ■結晶粒内での結晶方位差によるマップ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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