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EPMAによる状態分析

標準スペクトルと比較することで結合状態を推定!EPMAによる状態分析をご紹介

EPMAによる状態分析では、酸化物やケイ酸塩の化学結合状態(イオン価、 結晶構造、配位数)の異なりから、特性X線ピーク波長に変化(シフトや波形)が 生じることを利用し、標準スペクトルと比較することで結合状態を推定します。 2種類の銅酸化物の識別において、黒色CuOと赤色Cu2Oの色彩による識別が 困難な場合、特に電子顕微鏡が必要なミクロな対象物に対して、EPMAによる 酸化状態の把握が可能です。 また、Al表面の薄い酸化層の測定には最表面分析手法のXPSが有効ですが、 異物等の微小物や塊状物、バルク、複合材等に対して、EPMAによる酸化状態の 把握ができます。 【装置仕様】 ■日本電子(株)製 Jeol-8200 ■分析方式:波長分散型X線分析(WDX) ■分析可能元素:B~U ■エネルギー分解能:20eV(EDXは約130eV) ■検出限界:0.01%~ ■最大試料寸法:100x100mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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基本情報

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取り扱い会社

アイテスは、日本アイ・ビー・エム野洲事業所の品質保証部門を母体として1993年に設立されました。 日本アイ・ビー・エム野洲事業所での最先端電子部品の不良解析・信頼性保証で培った技術力を基盤にして、半導体、ディスプレイ、有機EL、太陽電池、電子部品の開発・製造を支える様々な商品、サービスを国内、海外のお客様へ提供してまいりました。

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