3D形状測定機(VR-6200)による加熱変形観察
VR-6200とヒーターステージを組み合わせることで加熱中の変化を可視化する事が可能に
凹凸、うねり、面粗さなどの表面形状を非接触で計測できる測定器である 3D形状測定機による「加熱変形観察」についてご紹介いたします。 まず初めに室温状態で3Dテクスチャ像を取得し、次に加熱した状態での 3Dテクスチャ像を取得。 加熱前後のテクスチャ像を重ね合わせ、差分テクスチャ像及び断面プロファイルを 確認すると、室温時に比べ加熱状態の基板では両端が高くなり、中央部が低く なっていることが分かります。 【特長】 ■加熱中の形状変化を可視化し確認することが可能 ■温度上昇スピードや待機時間、温度の設定など、ご希望に応じた プロファイルの作成が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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