断面観察像の比較
チップ抵抗器の断面観察と銅配線部の断面観察等に好適な観察方法をご紹介します！
観察装置選択のご参考となるよう、金属顕微鏡・W-SEM・FE-SEMの 見え方の違いをご紹介します。 チップ抵抗器の断面観察の際は、金属顕微鏡だと低倍率で 観察しづらい部位がありますが、SEM観察なら焦点深度が 深いため低倍率でも平坦度の高い画像が得られます。 銅配線部の断面観察の際は、W-SEMでも銅-樹脂界面や クラック内部の状態が観察可能ですが、FE-SEMなら 結晶粒や接続界面の微小ボイドまで鮮明に観察可能です。 【比較】 ■チップ抵抗器の断面観察 金属顕微鏡vs W-SEM 観察像の比較 ■銅配線部の断面観察 W-SEM vs FE-SEM 観察像の比較 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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