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【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価
凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能
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【分析事例】SSDP-SIMSによるSi基板Ga、Alの拡散評価
SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定
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【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定
固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能
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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
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【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価
SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化
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【分析事例】SiCダイオードのフォトルミネッセンスマッピング測定
SiC中積層欠陥の検出事例
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【分析事例】SUS不動態皮膜深さ方向状態と酸化膜厚評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能
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【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池 電極材料の評価
雰囲気制御イオン研磨（IP）加工を用いた断面観察が可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池 セパレータの評価
サンプルを冷却しセパレータの形状をより正確に評価
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【分析事例】LIB電解液の溶媒及び添加剤の特定・定量評価
電解液のサンプリングから定性・定量評価が可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池電解液の溶媒及び添加剤の分析
製品からの電解液の抽出および成分評価
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【分析事例】リチウムイオン二次電池Si負極の評価
サンプル冷却により充電後のSi負極の構造を評価可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池 正極シート状活物質の組成分析
シート状活物質の主成分定量分析が可能
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【分析事例】食品用の耐熱用PETボトルの積層構造分析
TOF-SIMSを用いてPETボトルの層ごとの成分を特定可能
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【分析事例】SIMSによるSiC
イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能です
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【分析事例】SIMSによるSiCパワーMOSFETドーパント評価
イメージングSIMSにより、局在する元素の評価が可能
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【分析事例】SIMSによるSiC中ドーパント元素の深さ方向分析1
SiC中B、Al、N、P、Asについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能
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【分析事例】クレンジングオイルの洗浄効果評価
TOF-SIMSによる洗浄残渣の測定事例
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【分析事例】プラスチック容器の表面金属汚染評価
XRFによる高分子材料中不純物の組成・分布評価
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【分析事例】白色LEDのフォトルミネッセンス分析
白色LED中のチップ、蛍光体の発光特性の確認
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【分析事例】SiC Planer Power MOSのSCM分析
SiC デバイスの拡散層構造を可視化できます
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【分析事例】CIGS粉体の組成・不純物分析
主成分および微量成分の定量分析が可能
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【分析事例】CIGS薄膜の組成分布分析
薄膜の組成定量、面内分布、深さ方向分布の評価が可能
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【分析事例】GCIBのSiO2中アルカリ金属深さ方向濃度分布評価
SiO2膜の不純物の評価
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【分析事例】エポキシ樹脂の定性
TOF-SIMS分析による成分の推定が可能
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【分析事例】ソフトマテリアルの断面観察と元素分析
クライオSEM観察-EDX分析で溶液試料の構造を直接評価
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【分析事例】微小部XRD分析による結晶構造評価
微小領域のXRD測定が可能
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【分析事例】高分子材料の結晶化度評価
昇温しながらの結晶化度の変化が評価可能
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