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【分析事例】SAXSによる乳化剤の液晶構造・ミセルサイズ評価
ナノオーダーの構造解析・ナノ粒子サイズの評価が可能
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【分析事例】SIMSによるSiC中ドーパント元素の深さ方向分析2
目的に応じた分析条件で測定します
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【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析
GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に可視化
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【分析事例】パフ表面の形状観察
パフ表面のデジタルマイクロスコープ観察
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【分析事例】食品中有害成分の濃度分析
乳幼児用粉ミルク中メラミンの濃度評価
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【分析事例】SIMSによる化合物半導体の組成分析
化合物半導体の主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
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【分析事例】はんだ合金中の添加物面内分布評価
ppmレベルの添加物の分布を高感度に評価可能
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【分析事例】GaN系LED構造中MgのSSDP-SIMS分析
裏面側からGaN系LED構造中の不純物プロファイルを取得可能
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【分析事例】SIMSによるGaN系LED構造の組成分析
GaN系LEDの主成分元素の組成を深さ方向に評価可能
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【分析事例】有機成分洗浄効果の評価
300mmウェハをそのまま測定できます
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【分析事例】SiC基板におけるSSDP-SIMS分析
SiC基板側からドーパント濃度プロファイルを取得可能
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【分析事例】SiC基板のゲート酸化膜評価
膜厚・密度・結合状態を評価
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【分析事例】300mmウェハ最表面の異物の評価
異物検査装置との座標リンケージ機能で特定異物の評価が可能
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【分析事例】化合物積層構造試料のSIMS分析
前処理により化合物層を選択的に除去してから分析が可能
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【分析事例】パワーデバイスのドーパント・キャリア濃度分布の評価
複合解析で活性化率に関する評価が可能
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【分析事例】パワーデバイスのキャリア濃度分布評価
ドーパントの活性化率に関する評価が可能
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【分析事例】SiC基板の品質評価
結晶方位・面内欠陥分布・表面凹凸・不純物を評価
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【分析事例】SIMSによるNPT-IGBT中ドーパント調査
イメージングSIMSによって局在する元素の評価が可能
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【分析事例】SIMSによるGaN系LED不純物の深さ方向濃度分析
目的に応じた分析条件で測定します
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【分析事例】テクスチャ付きGaN系LEDの元素分布評価
凹凸のある構造でも平坦化加工により深さ方向分布評価が可能
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【分析事例】SSDP-SIMSによるSi基板Ga、Alの拡散評価
SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定
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【分析事例】特殊形状試料のSIMS測定
固定方法の工夫により特殊な形状でも分析可能
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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
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【分析事例】金属ワイヤー中の不純物評価
SEMと同等の視野で大気成分などの不純物の面内分布を可視化
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【分析事例】SiCダイオードのフォトルミネッセンスマッピング測定
SiC中積層欠陥の検出事例
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【分析事例】SUS不動態皮膜深さ方向状態と酸化膜厚評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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【分析事例】アルミニウム(Al)表面のOHの分布、状態評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捕らえることが可能
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【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価
TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池 電極材料の評価
雰囲気制御イオン研磨（IP）加工を用いた断面観察が可能
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【分析事例】リチウムイオン二次電池 セパレータの評価
サンプルを冷却しセパレータの形状をより正確に評価
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