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【分析事例】有機薄膜太陽電池の断面観察
低加速電圧のSTEMを用いると有機膜のわずかな密度の違いが観えます
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【分析事例】リチウムイオン二次電池材料の総合評価
課題解決のために各種手法を組み合わせた評価を行います
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【分析事例】半導体基板中軽元素の高感度分析
SIMS分析によりH, C, N, O, Fなどを1ppm以下まで評価可能
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【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察
InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察
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【分析事例】有機EL素子の電極/有機層界面の状態評価
不活性ガス雰囲気下で前処理からXPS測定まで行います
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TEM_SEMによる有機EL_OLED_ゲート酸化膜の断面観察
低加速STEM観察により、低密度な膜でもコントラストがつきます
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【分析事例】バンプの広域断面観察
イオンポリッシュによる断面作製で微小特定箇所の広域観察が可能です
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【分析事例】酸化チタンアナターゼ型とルチル型の判別
TEM-EELSにより、微小領域の元素同定・化学状態分析が可能です
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【分析事例】Siウエハベベル部の汚染評価
金属成分と有機成分を同時に評価可能です
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【分析事例】有機EL素子積層膜の膜密度・膜厚測定
X線反射率測定（XRR）で膜厚・密度の分析が非破壊で可能です
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【分析事例】ZnO膜の組成・不純物の三次元分布評価
イメージングSIMS分析により面内分布を可視化
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【分析事例】SiON膜の評価
膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能
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【分析事例】ゲート電極から基板へのBの突き抜け量評価
SSDP-SIMSによる測定面の凹凸・高濃度層の影響を避けた測定
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【分析事例】有機EL素子の成分分析
Slope面出し加工された有機多層構造試料のTOF-SIMS成分分析
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【分析事例】素子分離領域の歪解析
NBD：Nano Beam Diffractionによる微小領域の歪解析
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【分析事例】極浅注入プロファイルの評価
極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能
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【分析事例】極浅ドーパント分布の高精度分析
高い再現精度で評価可能
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【分析事例】ホール側壁ONO膜の構造観察
FIB法による特定箇所の平面TEM観察
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【分析事例】二酸化ケイ素の構造解析
非晶質（ガラス）二酸化ケイ素（SiO2）のラマン散乱分光法による構造解析
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【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価
波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価
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【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価
光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり
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【分析事例】FIB低加速加工
FIB：集束イオンビーム加工
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【分析事例】高純度雰囲気下での前処理・測定
XPS：X線光電子分光法など
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【分析事例】球面収差補正機能
TEM：透過電子顕微鏡法
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【分析事例】SEM装置での歪み評価
EBSD：電子後方散乱回折法
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【分析事例】マイクロサンプリング法
FIB：集束イオンビーム加工
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【分析事例】垂直入射法による深さ方向分解能の向上
SIMS：二次イオン質量分析法
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ご依頼からの流れ
ご依頼から納品までの流れをまとめました。
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よくあるご質問（FAQ） サンプルについて
サンプルについて、よくお問い合わせいただくご質問を、FAQ形式でまとめました。
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よくあるご質問（FAQ） ご発注について
ご発注について、よくお問い合わせいただくご質問を、FAQ形式でまとめました。
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