圧力センサーベースのMFC『MARU9000s』
後段背圧が大気圧状態で動作可能！半導体の様々な工程における流量制御に好適なバルブ選択式MFC
『MARU9000s』は、後段背圧が大気圧状態で動作可能な圧力センサーベースのMFCです。 当製品は、前段バルブタイプと後段バルブタイプを選択でき、工程に応じた適切な提案が行えます。超微細加工に適した適切設計が施されており、後段バルブタイプは大流量プロセスに適合し、後段の圧力変動による影響を抑え、自己診断Level2機能を搭載。前段バルブタイプは低流量プロセスに適合し、前段の圧力変動の影響を低減しながら、フローデータを検証する自己診断Level3機能や、Hastelloyなどの使用による耐腐食性の強化を実現しています。半導体のすべての工程に適用できます。 【特長】 ■後段背圧が大気圧状態で動作可能 ■前段・後段バルブが選択可能で、工程別に提案 ■超微細加工に適した適切設計 ■自己診断機能を搭載 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■流量範囲：5SCCM 〜 50SLM ■流量制御範囲：0.5 〜 100% of Full Scale ■正確さ：<=±0.05% of Full Scale (0.5% 〜 10%)、<=±0.5% of Set Point (10% 〜 100%) ■応答時間：<=0.5Sec ■再現性：<=±0.3% of Set Point ■材質：STS316L VIM VAR & EP (オプション：Hastelloy) ■バルブタイプ：Solenoid & Piezo V/V (N.C) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■Dry Etcher、Poly Etcher、Oxide Etcherなどの半導体製造装置における超微細加工プロセス ■半導体のすべての工程でのガス流量制御 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
SEBONGは、1992年に韓国で創業して以来、工場自動化（FA）分野に必要な制御機器・産業用電子機器を幅広く取り扱い、韓国のさまざまな産業分野へ製品とソリューションを提供してまいりました。 創業以来、日本をはじめとする海外メーカーとのネットワークを構築し、優れた技術・製品を韓国市場へ展開するとともに、自社で培ってきた技術・製品を海外市場へ展開するなど、グローバルな事業を推進しています。 SEBONG JAPANはSEBONGグループの日本法人として2019年に設立され、韓国をはじめ、ヨーロッパ、中国など世界各国から厳選した産業用制御機器・電子機器を日本市場へ提供しています。 日本と韓国、そして世界各国のメーカーをつなぐグローバルネットワークを活かし、センサー、電源、モーター・ドライバー、IoT機器など、幅広い製品の輸入・販売から、お客様の用途や設備に合わせた製品提案、技術サポートまで行っています。 海外の優れた技術を日本の産業現場へ、日本の優れた技術を海外市場へ。 SEBONGは国やメーカーの枠を越えて産業技術をつなぐパートナーとして、お客様の生産現場の自動化・効率化・高度化に貢献してまいります。