圧力非依存MFC『MARU7000s』
EP処理により優れた耐腐食性とリーク特性を確保！優れた流量安定性を発揮する圧力非依存MFC
『MARU7000s』は、優れた耐腐食性とリーク特性を確保し、高い流量安定性を発揮するサーマル + 圧力センサーベースのMFCです。 当製品は、EP処理を施すことにより高い耐腐食性とリーク特性を実現。さらにPI機能により優れた流量安定性を発揮し、優秀なクロストークコントロールを可能にします。圧力不感性の特長（圧力非依存）を有しており、バルブタイプは中・大流量に適合するSolenoid Valve、または小・重流量に適合するPiezo Valveから選択可能です。国産技術で構築されたプロダクトポートフォリオとして、半導体やディスプレイ、一般産業など様々な分野へマスフロートータルソリューションを提供します。 【特長】 ■EP処理で耐腐食性とLeakに優れる ■PI機能で流量安定性に優れる ■クロストークコントロール優秀 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様(一部)】 ■流量範囲：5SCCM 〜 200SLM ■流量制御範囲：2 〜 100% of Full Scale ■圧力無感覚：≦±2% of Full Scale up/down to 10psi/Sec ■正確さ：≦±0.25% of Full Scale (2% 〜 25%)、≦±1.0% of Set Point (25% 〜 100%) ■応答時間：≦1.0Sec ■再現性：≦±0.15% of Full Scale ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■半導体：Memory(DRAM,NAND), Foundry, System LSI ■一般産業：Chemical, Measure, Ship, Steel, Medical ■エナジー：Solar Energy, Fuel Cell, Oil Refining ■ディスプレイ：LCD, AMOLED, OLED, LED ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
SEBONGは、1992年に韓国で創業して以来、工場自動化（FA）分野に必要な制御機器・産業用電子機器を幅広く取り扱い、韓国のさまざまな産業分野へ製品とソリューションを提供してまいりました。 創業以来、日本をはじめとする海外メーカーとのネットワークを構築し、優れた技術・製品を韓国市場へ展開するとともに、自社で培ってきた技術・製品を海外市場へ展開するなど、グローバルな事業を推進しています。 SEBONG JAPANはSEBONGグループの日本法人として2019年に設立され、韓国をはじめ、ヨーロッパ、中国など世界各国から厳選した産業用制御機器・電子機器を日本市場へ提供しています。 日本と韓国、そして世界各国のメーカーをつなぐグローバルネットワークを活かし、センサー、電源、モーター・ドライバー、IoT機器など、幅広い製品の輸入・販売から、お客様の用途や設備に合わせた製品提案、技術サポートまで行っています。 海外の優れた技術を日本の産業現場へ、日本の優れた技術を海外市場へ。 SEBONGは国やメーカーの枠を越えて産業技術をつなぐパートナーとして、お客様の生産現場の自動化・効率化・高度化に貢献してまいります。