液体および前駆体MFC『ARI7000s』
国産技術でProduct Portfolioを構築します！マスフロートータルソリューションの提供
『ARI7000s』は、独自のセンサー技術に基づいて製作され、液体の流れを精密にコントロールする国内開発の液体および前駆体MFCです。 当製品は、独自の液体センサーやバルブ開発、気化器連動型バルブ開発技術を保有しております。これにより、多様な前駆体別の開発や量産への対応を実現します。 【特長】 ■独自のセンサー技術に基づいた製作 ■多様な前駆体別の開発・量産に対応 ■液体の流れをコントロール ■液体センサーやバルブ、気化器連動型バルブの開発技術 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【仕様】 ■流量範囲（IPA相当）：0.5 ～ 10g/min ■流量制御範囲：5 ～ 100% of Full Scale ■正確さ：<= +-1.0% of Full Scale ■応答時間：<= 3.0Sec ■再現性：<= +-1.0% of Full Scale ■材質：STS316L VIM VAR & EP ■バルブタイプ：Piezo V/V (N.O) ■温度の効率化：+-0.2% of Full Scale/度 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■液体コントロール ■液体前駆体の送達 ■液体の流量コントロール ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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取り扱い会社
SEBONGは、1992年に韓国で創業して以来、工場自動化（FA）分野に必要な制御機器・産業用電子機器を幅広く取り扱い、韓国のさまざまな産業分野へ製品とソリューションを提供してまいりました。 創業以来、日本をはじめとする海外メーカーとのネットワークを構築し、優れた技術・製品を韓国市場へ展開するとともに、自社で培ってきた技術・製品を海外市場へ展開するなど、グローバルな事業を推進しています。 SEBONG JAPANはSEBONGグループの日本法人として2019年に設立され、韓国をはじめ、ヨーロッパ、中国など世界各国から厳選した産業用制御機器・電子機器を日本市場へ提供しています。 日本と韓国、そして世界各国のメーカーをつなぐグローバルネットワークを活かし、センサー、電源、モーター・ドライバー、IoT機器など、幅広い製品の輸入・販売から、お客様の用途や設備に合わせた製品提案、技術サポートまで行っています。 海外の優れた技術を日本の産業現場へ、日本の優れた技術を海外市場へ。 SEBONGは国やメーカーの枠を越えて産業技術をつなぐパートナーとして、お客様の生産現場の自動化・効率化・高度化に貢献してまいります。