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流量比コントローラ『MADEE5000s』

ユーザー独自の個別制御で比率分配!混合ガス制御やチャンバーへのガス供給に好適な分配コントローラ

当製品は、流量を比率分配制御する流量比コントローラです。国産技術により、高度なマスフロートータルソリューションを提供します。 各SlaveのFlow Ratio Set値をユーザー自身で個別に制御できるメカニズムを搭載。分離型と一体型のラインアップがあり、最小2chから最大6chに柔軟に対応します。さらに、MESやERPベースの生産運用システム、開発・品質管理システムの構築運営をサポートする品質管理システムを実現します。 【特長】 ■流量を比率分配制御(一体型/分離型) ■最小2chから最大6chに対応 ■各SlaveにFlow Ratio Set値を個別に制御可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

関連リンク - http://www.osebong.com/JPN/index.php

基本情報

【仕様(一部)】 ■流量範囲(N2相当):300SCCM - 20SLM ■チャンネル:2ch - 6ch (分離型)、2ch - 4ch (一体型) ■Input比率コントロール範囲:0%、2 - 100%(Each CH) ■応答時間:<=3.0Sec ■再現性:<=+/-0.3% of Full Scale ■バルブタイプ:Solenoid V/V (N.O) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途】 ■混合ガス制御 ■混合ポイントでの制御 ■プロセスチャンバーへのガス供給 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

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取り扱い会社

SEBONGは、1992年に韓国で創業して以来、工場自動化(FA)分野に必要な制御機器・産業用電子機器を幅広く取り扱い、韓国のさまざまな産業分野へ製品とソリューションを提供してまいりました。 創業以来、日本をはじめとする海外メーカーとのネットワークを構築し、優れた技術・製品を韓国市場へ展開するとともに、自社で培ってきた技術・製品を海外市場へ展開するなど、グローバルな事業を推進しています。 SEBONG JAPANはSEBONGグループの日本法人として2019年に設立され、韓国をはじめ、ヨーロッパ、中国など世界各国から厳選した産業用制御機器・電子機器を日本市場へ提供しています。 日本と韓国、そして世界各国のメーカーをつなぐグローバルネットワークを活かし、センサー、電源、モーター・ドライバー、IoT機器など、幅広い製品の輸入・販売から、お客様の用途や設備に合わせた製品提案、技術サポートまで行っています。 海外の優れた技術を日本の産業現場へ、日本の優れた技術を海外市場へ。 SEBONGは国やメーカーの枠を越えて産業技術をつなぐパートナーとして、お客様の生産現場の自動化・効率化・高度化に貢献してまいります。