大塚電子株式会社 公式サイト

nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能！フォーカス不要で高速測定　目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化

【仕様(一部)】 ■分解能(x,y)：691nm(ワンショット)、488nm(合成) ■視野(x,y)：700×700μm ■分解能(z)：10nm(位相差) ■視野(z)：±700μm ■サンプルサイズ：100×80×t20mm(汎用サンプルホルダ取付時) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面フィルム検査を実現！

【仕様】 ■膜厚範囲：0.1～300 μm ■測定幅：500 mm～最大10 m ■測定間隔：1 ms～ ■装置サイズ(W×D×H)：81×140×343 mm ■重量：4 kg(ヘッドのみ) ■最大消費電力：AC100V±10％ 125VA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

1ポイント1秒測定＆測定エリア最小3μｍ！高性能で使いやすい顕微分光膜厚計

【これまでの膜厚計のお悩み】 ■接触式／非接触式どちらでも測定が難しい素材がある ■操作や解析に経験が必要 ■今までよりも高範囲・高精度な測定を求められるようになった ■測定用途に合わせて様々な機器が必要になる ※そんな膜厚計のお悩みを「OPTMシリーズ」1台で完全解決します！ 【特長】 ■膜厚測定に必要な機能をヘッド部に集約 ■顕微分光で高精度な絶対反射率測定（多層膜厚、光学定数） ■1ポイント1秒以内の高速測定 ■顕微下で広い測定波長範囲を実現する光学系（紫外～近赤外） ■エリアセンサーによる安全機構 ■初めての方でも光学定数解析が可能な楽々解析ウイザード ■測定シーケンスをカスタマイズ可能なマクロ機能搭載 ■複雑な光学定数も解析可能（複数点解析法） ■300mmステージ対応可能 ■各種カスタマイズに対応　など ※詳しくはＰＤＦ資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

持ち運び可能なハンディタイプの膜厚測定装置！サンプルを傷つけることもなく測定可能

【こんなお悩みに】 ■測りたい“その場”ですぐに測れない ■人によってバラつく測定結果 ■測定精度が悪い ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

広ダイナミックレンジ！高速・高再現性、軽量・コンパクトが特長的

【測定項目(一部)】 ■発光スペクトル測定 ■透過・吸収スペクトル測定 ■反射スペクトル測定 ■蛍光測定 ■物体色測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

独自の分光器だからできる高精度測定！かんたんソフトウェアで操作性大幅UP

【仕様(一部)】 ■測定項目(フィルム、光学材料)：リタデーション(波長分散)、遅相軸、Rth、3次元屈折率など ■測定項目(偏光板)：吸収軸、偏光度、消光比、各種色度、各種透過率など ■測定項目(液晶セル)：セルギャップ、プレチルト角、ツイスト角、配向角など ■リタデーション測定範囲：0～60,000nm ■リタデーション繰り返し性：3σ≦0.08nm(水晶波長板 約600nm) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

サブミクロン～数百ミクロンの構造を評価できる！卓上タイプで実験室に設置可能

【仕様(一部)】 ■測定原理：小角光散乱法 ■光源：半導体レーザ(波長785nm) ■検出器：CMOSカメラ ■測定範囲(理論値) ・球晶径 1.3～175μm ・相関長 0.1～100μm ■ダイナミックレンジ：120db以上(HDR機能使用) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。