カセットレス洗浄装置

品質と省エネを高い次元で両立。 半導体洗浄のリーディング・テクノロジー。 ロボット搬送がスムーズでチッピングが生じない、大幅なランニングコストの低減が可能。 しかもファインソニック使用で、さらに品質向上。 数々のスーパークリーンテクノロジーを採用したカセットレス洗浄装置は、洗浄におけるカセットの問題点をすべて解決する半導体洗浄の決定版です。