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半導体業界のCMP工程および研削工程の制御
「CHRocodile 2 ITセンサー」は、ワーク処理中にウエハーの厚さを計測できます
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高速かつフレキシブルなガラス肉厚測定
高い柔軟性と効率性!測定点は最大12.5 mmの長さを持つライン上に広がっています
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測定技術を次のレベルへ
ハイエンド色収差共焦点センサーによる工程と品質保証の改善
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ガラス産業向けの品質検査と連続補正
生産工程でのバルク材料のさまざまな欠陥を可視化することが可能です
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バッテリー製造及びそのコンポーネント検査向けセンサーのご紹介
各センサーの測定原理や対応センサー、製品情報、使いやすさなどをご紹介!
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【資料】CHRocodileシリーズのご紹介
非接触厚み及び形状計測センサーについて掲載しています!
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【資料】非接触厚み及び形状計測センサー
測定例を多数掲載!CHRocodileの半導体向けアプリケーションをご紹介しています
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光学式エリアスキャナ「Flying Spot Scanner」
振動の影響を受けずに高速エリアスキャン。オンライン、オフライン、品質管理、ウエハ検査用途に。
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新色収差共焦点センサー『CHRocodile MPS 2L』
サンプルに対してダメージ、変形、形状への影響無!ホットエンド工程にも対応可能
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CHRocodile 2DPS+CHRocodile 2IT
半導体向けインプロセス中におけるウェハー厚み測定センサーのご紹介!
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高速カメラ『CHRomatic Vision Camera』
インライン向けの高速で、高精度な外観検査用のラインカメラです。ウエハ検査用途にも。
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色収差共焦点センサー『CHRocodile C』
最大±45°の傾斜でも正確かつ安定測定!全ての表面に対応します
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CHRocodile 2IT DW1000
アナログI出力付!CHRocodile 2IT DW1000をご紹介します。
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プレシテック・ジャパン株式会社 会社案内
レーザー材料加工および光学測定技術のスペシャリスト!
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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2DWシリーズ』
ドープウエハに適切な光源波長を使用し、難しいドープウエハ厚み測定に対応
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厚み測定 - 光学センサ『CHRocodile 2ITシリーズ』
多種多様な材料の厚み測定、広い測定レンジから加工中と加工前後を1台で対応!ウエハ検査用途にも。
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エリアスキャンセンサー『Flying Spot Scanner』
XYステージ不要!分光干渉原理による厚みと距離(変位)測定が可能!ウエハ検査用途にも。
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3次元測定 - ラインセンサ『CHRocodile CLS』
サブミクロン精度で高速・広範囲を3次元形状測定。エッジや斜面にも対応できる広い許容角度が特長。ウエハ検査用途にも。
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小型光学式厚み/距離測定用センサ『CHRocodile C』
コスト重視におすすめな安価なタイプ。厚み測定、距離測定用センサ。ウエハ検査用途にも。
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画像センサ『CHRomatic Vision Camera』
振動の影響不要!環境に依存せず簡単な操作性を実現します!ウエハ検査用途にも。
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