製品サービス
製品・サービス
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リフトオフ・有機剥離(4)
当社で取扱うリフトオフ処理装置や有機剥離処理装置をご紹介いたします。
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RCA処理、 酸洗浄、酸剥離、各種混酸処理(7)
RCA処理(SPM,APM,DHF,BHF,O3水,等)酸洗浄、酸剥離、各種混酸処理、CMP後洗浄、研磨後洗浄、マスク洗浄等 上記は代表例です。詳しくはご相談ください。
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CMP後洗浄・研磨後洗浄・マスク洗浄(4)
当社では、CMP後洗浄や研磨後洗浄、マスク洗浄などを行う装置を多数取り扱っております。
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エッチング(5)
方性エッチ、酸化膜・窒化膜エッチ、メタルエッチ、燐酸処理、混酸処理、テクスチャーエッチ
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レジストコート(3)
当社で取扱う「レジストコート」をご紹介致します。