RCA処理、 酸洗浄、酸剥離、各種混酸処理
RCA処理、 酸洗浄、酸剥離、各種混酸処理
RCA処理（SPM,APM,DHF,BHF,O3水,等）酸洗浄、酸剥離、各種混酸処理、CMP後洗浄、研磨後洗浄、マスク洗浄等 上記は代表例です。詳しくはご相談ください。
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《新型》UDSスピン枚葉装置（レジスト剥離/リフトオフ系）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
最終更新日
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《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
最終更新日
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スピン＆コンベア処理装置 （エッチング・洗浄・剥離）
高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能！
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スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）
高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置
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全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）
高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
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《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置
RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセス処理に対応実績多数
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《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取
ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化！
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