エッチング
エッチング
方性エッチ、酸化膜・窒化膜エッチ、メタルエッチ、燐酸処理、混酸処理、テクスチャーエッチ
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《新型》UDSスピン枚葉装置（レジスト剥離/リフトオフ系）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
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《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置
RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセス処理に対応実績多数
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《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
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スピン＆コンベア処理装置 （エッチング・洗浄・剥離）
高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能！
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小型マルチスピンプロセッサー エッチング・洗浄・現像
スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴き実績も豊富
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