リフトオフ・有機剥離
RCA処理、 酸洗浄、酸剥離、各種混酸処理
CMP後洗浄・研磨後洗浄・マスク洗浄
エッチング
レジストコート
当社で取扱う「レジストコート」をご紹介致します。
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大型基板用レジストコータ
チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット
最終更新日 2024年10月21日
セミオートレジストコーター
レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能!メンテ性にも気配りをしております
大型基板用全自動フォトリソ処理装置
フォトリソプロセス一貫処理が可能