大型基板用レジストコータ

チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット

最終更新日 2024年10月21日

セミオートレジストコーター

レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております

最終更新日 2024年10月21日

大型基板用全自動フォトリソ処理装置

フォトリソプロセス一貫処理が可能

最終更新日 2024年10月21日