静電チャック・ESC向け雰囲気焼成炉
ESC・セラミックス部品の焼成条件出しに。N₂＋H₂還元雰囲気と露点制御で、焼成品質の再現性向上に貢献します。
静電チャック（ESC）やセラミックス部品の焼成・還元処理・脱バインダー処理に対応した、雰囲気制御型の高温焼成炉です。 N₂およびN₂＋H₂還元雰囲気での運転に対応し、常用1000℃、最高1650℃までの高温処理が可能です。 また、オプションによりWetガス導入・露点制御・Dry/Wet切替にも対応できるため、材料の焼き上がり、緻密化、絶縁性、表面状態、内部電極状態などの条件検討に活用できます。 同一チャンバー内で雰囲気を切り替えながら処理できるため、工程間の移動や外気曝露を抑制し、焼成条件の再現性向上、ばらつき低減、試作評価の効率化に貢献します。 ESC向けの焼成条件出し、N₂＋H₂還元処理、露点管理を伴うセラミックス焼成でお困りの場合は、お気軽にご相談ください。
基本情報
【仕様・スペック】 ・炉内寸法：W550 × D550 × H600 mm ・最高温度：常用1000℃、最高1650℃ ・雰囲気：N₂、N₂＋H₂、Dry/Wet切替対応 ・処理方式：バッチ式 ・ヒーター：Wヒーター ・炉内材質：セラミック断熱材 ・ユーティリティ：電気 AC380V、3相、60Hz、82kVA ・ガス圧：0.3MPa ・冷却水：約25℃、0.2MPa ・安全機構：H₂アフターバーナー、過昇温防止、排気系統安全保護、圧力監視、遮断弁 など ・カスタム対応：炉内寸法、温度、雰囲気、露点制御、安全仕様など個別設計可能
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途・実績例】 ・静電チャック（ESC）用セラミックス部品の焼成 ・N₂＋H₂還元雰囲気での高温処理 ・Dry/Wet雰囲気制御による焼成条件出し ・露点制御を伴うセラミックス焼成 ・脱バインダー、還元、脱炭、表面状態調整 ・内部電極を含むセラミックス部品の雰囲気焼成 ・半導体製造装置向けセラミックス部品の試作・量産検討 ・雰囲気条件による色調、緻密性、絶縁性、抵抗値、反り、ばらつき評価
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当社は、「電気」「設備」「化学」の三つの技術を独自のノウハウで 融合させ、革新的な加熱炉、その他設備を開発している会社です。 独自の高温電気炉技術を活かしカーボン炉やマルチ雰囲気炉、メタル炉、 塩素炉など様々な電気炉(加熱炉)を取り扱っております。 単なる設備メーカーではなく、10年先のスタンダードを見据え、お客様と 共にモノづくりを革新的な熱でサポートする、戦略的開発パートナーです。