非接触表面計測システム 『CT350』
最大350×350mm²範囲で高分解能な3D光学測定を実現。6種類のセンサー技術に対応し広範な表面解析をサポートします
高精度な非接触表面計測システム『CT350』は、最大350×350mm²の範囲で高分解能な光学測定・解析に対応し、色収差共焦点や3D白色光干渉計など最大6種類の異なるセンサー技術を搭載可能です。 Z軸分解能0.1nmレベルの精密測定から薄膜測定、高解像度画像解析までフレキシブルに対応し、半導体や電子部品など多様な材料の品質評価や表面形状解析を強力に支援します。 【特長】 ■最大350×350mm²の広い測定範囲と高分解能な光学解析に対応 ■色収差共焦点や干渉計など最大6種類のセンサー技術を搭載可能 ■Z軸分解能0.1nmレベルの精密な表面形状や厚み測定を実現 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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型番・ブランド名
Cyber Technologies
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