検査装置　INSPECTION

エリアカメラによるスペーサ・粒子カウント及びラインセンサーカメラによる全面のクラスター・異物検査を行います。研究開発用途の卓上検査装置からインラインの全自動検査装置、周辺のバッファー・搬送装置等にも対応致します。