自動搬送カセットクリーンオーブン
一度に1セット分を処理できる！搬送機付自動カセットクリーンオーブンのご紹介
当社が取り扱う、『自動搬送カセットクリーンオーブン』をご紹介します。 8″ウェハ25枚1カセットを6個1セットとし、1台のクリーンオーブンと ローダ、アンローダ側の搬送ロボットを使用。一度に1セット分を処理できる 搬送機付となっております。 搬送方式は自動または手動が可能で、クリーンオーブン内温度はMAX140℃。 外形寸法は2590（W）×1400（D）×2400（H）となっております。 【主な仕様】 ■処理ウェハ：8”石英ウェハ25枚入りカセット×6 ■搬送方式：自動／手動 ■クリーンオーブン内温度：MAX140℃ ■クリーンオーブン内清浄度：クラス10 0.3μmRTにて ■外形寸法：2590（W）×1400（D）×2400（H） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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EXTENSIVE VISION ON SYSTEM （幅広い視野に立ったシステム構築） を目的として、独自性の高い製品を作るという意味から名づけられました。 現在の技術革新には目覚ましいものがあり、時代の要求は常に高度なものになっております。熟成化された今の装置産業に革命を起こすべく、常に他社との差別化をなした装置の提案を行い、産業界に貢献する会社であることが我々の使命だと考えております。