ハイウィン株式会社 公式サイト

ナノメートル精度のポジショニングステージ。半導体検査装置、半導体製造装置に！

・低床構造 ・位置決め安定性±2nm ・速度リップル±0.1%@100mm/s ・高い幾何学的精度 ・機器の状態監視をする「スマートモジュール」搭載可能 ・ワンストップサービス ・カスタム対応可能

半導体製造装置向けのコンポーネントからサブシステムまで、トータルでご提供可能です

■半導体製造装置向け製品を、オールインワンでご提供 　コンポーネントにとどまらない、サブシステムもご提供可能です。 　中でも、ウエハ搬送ロボットは当社製DDモーターや高剛性クロスローラーベアリングを搭載。 　主要コンポーネントは当社製品でカバーし、高性能とリーズナブルを両立します。 ■手厚い技術サポート 　神戸と東京に、ものづくり支援の拠点として「ロボット技術センター」を構えています。 　実証実験や、ボトルネックになりがちなPoC概念検証を当社技術担当者がサポート。 　ティーチングやサンプルプログラムの提供、保守メンテナンス担当者には法令に則った特別教育を受講いただくことも可能です。

高精度＆高剛性！　2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット【Eシリーズ】

シングルアーム／ダブルアーム アーム長　135mm／185mm エンドエフェクターは真空吸着、把持、反転の各方式に対応。

高速・高精度・高剛性・高効率、そして省スペースを実現！ 2-12インチ対応の【HIWINウエハアライナー】

・2-12インチ対応のラインアップ ・最短4.9秒以内のウエハアライメントが可能 ・ウエハの中心や角度等の補正動作と同時に、繰返し精度±0.1ｍｍの実現が可能 ・クリーン度Class 1

8インチ、 12インチ製品の搬入出に対応した共用型ロードポート。

・8インチ、 12インチのFOUP/FOSBにダイレクトに対応。 ・製品のクリーン度はClass 1。 　フォトリソグラフィー、エッチング、CVD、PVD、洗浄、検査等、さまざまな半導体プロセス装置でご使用いただけます。 ・関連する安全規制に準拠して、システムは緊急停止機能を提供し、電気制御システム、感知システム、真空システムなどのさまざまな機能モジュールをリアルタイムで監視。 　ユーザーに最も包括的で安全な保護を提供いたします。 ・ボールねじ、リニアガイドウェイなどのウエハロードポートの主要コンポーネントは、すべて当社で開発および製造。 　ソフトウェアとハードウェアの垂直統合により、ユーザーのニーズに応じてカスタマイズも可能です。

各種自動化タスクに。ハイウィンのDDモーター

○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。

ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に最適。　※技術資料を進呈

■悪環境下での使用 　ステンレス鋼を使用しており、高湿度環境や耐食性が要求される環境での使用に適しています。 ■互換性 　ステンレス鋼シリーズと炭素鋼シリーズは、外観とねじ寸法が同じため、直接置換えることが可能です。 ○ 詳細はカタログをご覧になるか、お問合せください。