新しいQuantim QMC コリオリ式流量計（第3世代）は、微少流量の気体や液体の測定と制御のアプリケーションに最適です Quantim(R) QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、微少流量の気体や液体に対して極めて正確で安定した、再現性のある測定と制御を実現します。この第3世代の新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローコントローラとメータは、プロセスの品質、生産の歩留まり、スループットを高めることで、ラボからパイロットプラント、生産までのスケールアップ期間の短縮に貢献します。 新しいQuantim QMC コリオリ式マスフローのシリーズは、ブルックスインスツルメントのQuantim 旧モデルと取付寸法、機能面で互換性があります。 用途 ■ 触媒研究 ■ 化学パイロットプラントにおけるマスバランス計算 ■ 気化機へのプリカーサ供給 ■ 精密コーティング ■ 高精度充填ステーション ■ 定量ポンプのフィードバック/制御ループ ■ 真空プロセス ■ 半導体ウェーハプロセス

『最高の性能を最大限に引き出す』 半導体製造における高度なエッチングやデポジションのプロセスに特化して設計された、業界初の完全圧力不感応タイプの圧力ベースのマスフローコントローラ（P-MFC）です。 GP200シリーズP-MFCは、従来のP-MFCの限界を克服し、低蒸気圧のプロセスガスでも高精度なプロセスガス供給を可能にする特許取得済みのアーキテクチャを採用しています。また、差圧センサーを内蔵し、下流側にバルブを配置するなど独自の設計を採用することで、業界で最も広い範囲の動作条件で高精度のプロセスガス供給を可能にしています。 幅広いプロセス条件に対応しているため、従来のP-MFCやサーマルMFCの代替品やアップグレード品として使用することができます。また、圧力調整器や変換器などの部品が不要になるため、ガス供給システムを簡易化し、コストを低減することができます。 【主な用途】 ■ 半導体製造 ■ エッチング ■ CVD ■ 高純度のオールメタル流路を必要とするガス流量制御アプリケーション

0250シリーズは電源供給とアナログ制御の機能に加えて、 RS232シリアルポートを搭載したセカンダリエレクトロニクスです。 この革新的で信頼性の高いマイクロコンピュータベースの コントローラは、2つのモデルをご用意しています。 【モデル0251】 1台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスに電源を供給します。 【モデル0254】 最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスのための電力を供給します。 このRoHS指令に準拠したデバイスは、非常にユーザーフレンドリーな 操作性を持っており、多様なアプリケーションに簡単にインストール できるよう、取付方法のオプションが提供されています。

モデル GF40 『デバイス1台で さまざまなガスと流量に対応します』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 用途 ■ 太陽電池CVD（化学蒸着）システム ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 真空プロセス ■ ナノテクノロジー/MEMS製造 ■ プラズマ、ガラス、ウェブ被膜システム ■ マニホールド/ガス供給システムの選択肢

・商品説明を聞きたいが、メールや電話では情報が不足する ・会議の時間が取りにくい 商品説明をテレビ会議形式で行うことにより、お客様と資料を共有しながら対面とほぼ変わらない打合せを行うことがで弊社製品をより深くご理解いただけると思います。 是非とも、お気軽にオンライン商品説明サービスをご利用ください。 ＜オンライン商品説明の流れ＞ ▼ STEP1｜お申し込み ▼ STEP2｜お申込み受付 弊社担当よりオンライン商品説明の日時とテレビ会議のリンクを メールにてお送りします。 ▼ STEP3｜オンライン商品説明 当日はメールに記載のリンクにアクセスし、テレビ会議を開始します。 テレビ会議は Microsoft Teamsを利用します。 ソフトのインストールは不要ですが、その他のサービスもご要望がありましたら遠慮なくご相談下さい。

産業用や民生用の製品の表面には、その仕上がりを最適化させるためにコーティングを施すことがあります。例えば、切削工具の耐摩耗性、ガラスの耐傷性、板ガラスの熱特性、住宅設備機器の美観などを向上させることが可能です。化学蒸着、物理蒸着、プラズマ処理プロセス、溶射など、コーテイングの手法はさまざまですが、製造工程の最終段階として行われることが多いようです。 ブルックスインスツルメントのマスフロー、真空・圧力測定および制御装置は、PVDおよびCVDプロセスアプリケーションをカバーしています。熱処理やプラズマ処理プロセスなどの表面処理アプリケーションにも適しています。 【特長】 ■ 再現性の高い、高精度なガス供給 ■ 優れた品質、正確な厚み、膜厚の均一性 ■ 長期にわたる安定したプロセス制御 ■ 高機能な現場での流量診断とトレンド解析で、 プロセスの歩留まりを最大化

さまざまな市場からのアプリケーションノートでは、Brooks Instrumentの測定および制御技術が、相手先商標製品メーカー、パイロットプラント、生産プラント、研究所、大学などの競争力をいかに生み出すかを紹介しています。 ■ アナライザー市場 ■ 航空宇宙および自動車 ■ 化学・石油化学 ■ フード＆ビバレッジ ■ ライフサイエンス：バイオテクノロジー、製薬、医療機器 ■ 石油・ガス ■ 半導体製造 ■ 薄膜、コーティング、および表面処理 ■ 水処理・廃水処理 詳しくはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/markets

『超高清浄度のDI蒸気供給において最高流量精度を実現』 蒸気供給モジュール（VDM：Vapor Delivery Module）は、低温でも超高清浄な気化ガスを生成する電力効率の優れた設計が特長です。実証済みの蒸気供給技術を採用し、高度なデジタル制御と総合的な診断機能を備えています。 フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。実証済みのサーマル式マスフロー測定技術を基にしており、非過熱状態でも蒸気を生成し、純水による影響を排除するため、高い信頼性と清浄度の高い製造が行えます。独立したサービスポートと直観的なGUIにより、ユーザーフレンドリーなデータロギングと診断機能を提供します。 用途 ■ シリコン半導体の金属エッチング後プロセス ■ シリコン半導体メタルストリッププロセス ■ 低大気圧環境における超高清浄度加湿 詳しくはこちらをご覧ください https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/products/vaporization/vapor-delivery-modules/vdm300

■ マスフローコントローラ/メータ『GF40シリーズ』 1台のデバイスで複数のガスに対応するので、プロセスの柔軟性と生産性が最大限に向上します。ブルックスインスツルメント独自の MultiFlo テクノロジーを搭載したGF40シリーズエラストマシールマスフローコントローラ/メータは、多様なガスを使用する、頻繁にガスの種類を変更する、またはガスの測定と制御精度は維持したまま、範囲を再調整する必要のあるシステム、プロセス、施設に最適です。これまでにない流量測定と制御性能を備え、プロセスの柔軟性を新たな次元に高めます。 ■ リードアウトユニット『0254』*RoHS指令準拠製品* 0250シリーズは電源供給とアナログ制御の機能に加えて、RS232シリアルポートを搭載したセカンダリエレクトロニクスです。このRoHS指令に準拠したデバイスは、非常にユーザーフレンドリーな操作性を持っており、多様なアプリケーション環境で簡単にインストールできるよう、取付方法のオプションをご用意しております。最大4台のBrooksマスフローまたは圧力デバイスのための電力を供給します。

デジタルマスフローコントローラとイーサネットベースのネットワーク プロトコルは、どのようにお客様の生産工程を向上させることができる のでしょうか？ ＜計測器から得られる豊富なデータでプロセスの課題を解決する＞ ・デジタル通信の進化 ・デジタル通信プロトコルの種類 ・”デジタル化”によるメリット ・デジタルプロトコルが機器の付加価値を高める仕組み ・デジタルアプリケーション：ガス使用量モニタリングにおける流量積算 ・デジタルアプリケーション：バイオリアクターの流量積算測定 ・デジタル通信プロトコルを選択する際の注意点 ・デジタル機器のポートフォリオを拡張

モデル 3809G / 3809G ELF / 3809G TFE Lined / 3810G 『幅広い温度、圧力、プロセスレンジに対応、 実証済みのメータ』 屋内や屋外を問わず、過酷なご使用環境下でも設置可能な構造：高圧条件、低温や高温の流体、遠隔監視のご用途には「MT3809シリーズ 金属管面積式流量計」をご検討ください。 MT3809シリーズは、信頼性と繰り返し性の高い気体と液体の流量の 測定で豊富な実績を誇り、世界のエンジニアリング会社 （EPC）および 大型プラントにおける機器選定の主力製品になっています。 用途 ■ 基本的な液体または気体の流量測定 ■ 回転する設備の潤滑剤および冷却水の監視 ■ 添加剤の測定 ■ 溶鉱炉（火炉）用ガスの監視 ■ 海洋石油プラットフォームの高圧流量 ■ 薬液注入

80カ国以上において70年以上にわたるグローバルな実績があります！ プロジェクトの設計、調達、建設（EPC）請負業者が高性能な流量計技術と 高度な技術的専門知識を必要とするとき、当社は的確なソリューションの ための信頼できるサプライヤーとなります。 製品は、原子力やバイオテクノロジーから電力や石油化学に至る アプリケーションの分野において採用されているため、80カ国以上に おいて70年以上にわたるグローバルな実績があります。 製品のパフォーマンスと価値がそれを証明しており、プロジェクトごと に、EPCのパートナーに好適なサポートをさせていただいております。 【特長】 ＜MT3809 シリーズ 金属管面積式流量計＞ ■高いプロセス圧力にも対応した堅牢な設計 ■アラーム機能はSIL 2要件に適合 ■複数の耐腐食性接液材料とインジケータハウジングが利用可能 ■ASME B31.3規格に適合

モデル SLA5850/SLA5851/SLA5853/SLA5860/SLA5861/SLA5863 『1台あれば、14種類の圧力や流量レートを1つのプロセスで使用できる。』 そんなマスフローコントローラプラットフォームを想像してみてください。しかも、優れた再現性、精密度、繰り返し出力を備えています。これがSLA5800シリーズマスフローコントローラ/メータの進化したシンプル性能です。 SLA5800シリーズは、マスフロー測定と制御テクノロジーで業界をリードするブルックスインスツルメントならではの高い精度、ゼロ点安定性、繰り返し性を備えています。設定可能な高度なマルチガス/マルチレンジ機能を搭載し、競合製品と比較して優れたゼロドリフト仕様を提供すると同時に、出荷時キャリブレーションと精度を長期的に維持することが実証されています。

バイオテクノロジーなどの業界では、流量制御の校正精度を保証するために認証を利用しています。 流体の流れを測定し制御する機器は、正確な測定と制御を保証するために、初期製造時に校正し、その後定期的に再校正をする必要があります。ブルックスインスツルメントのような計測器メーカーにとって、高精度な計測システムによる流量測定および制御機器の校正は不可欠です。実際、バイオテクノロジーのような産業における規制の強化は、認証を通じて既知の不確かさを文書化するために、計測器メーカーにさらに大きな要求を課しています。 例えば、バイオテクノロジーのプロセスシステムでは、マスフローコントローラ（MFC） が、酸素や二酸化炭素などのプロセスガスをバイオリアクタに供給するのを制御します。これらのガスを正確かつ繰り返し供給することは、バイオリアクターの歩留まり、性能、稼働時間を最大化するために、プロセス管理者が確認・管理しようとする要素の 1 つです。 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/17025-accreditation

ここで取り上げる触媒の研究例はハーバー・ボッシュ法であり、肥料用のアンモニアを工業規模で生産するものです。 ハーバー・ボッシュ法とは、高温高圧下で金属触媒を使って窒素と水素を反応させてアンモニアを生産します。触媒の研究は常に進歩しており、現在ではさまざまな触媒が見つかっています。 ハーバー・ボッシュ法では当初、触媒としてオスミウムを使用していました。現在は、触媒に鉄鉱石が使用されています。 触媒の研究はパイロット・プラントで展開されます。パイロット・プラントは、反応、材料特性、プロセスの歩留まりなどについて貴重な初期段階の科学的データを提供することで、大規模なプロセス・プラントに関連する技術的・商業的リスクを軽減します。この研究では圧力、温度、流量、反応時間など、すべてのパラメーターをモニターしながら実験が行われます。 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/mass-flow-controllers-enable-catalyst-research

モデル SLAMf50 / SLAMf51 / SLAMf53 / SLAMf60 / SLAMf61 / SLAMf63 / SLAMf64 『厳しい環境にも対応する耐久性！優れた精度を実現する精密マスフローコントロール』 屋内や屋外を問わず、粉塵の雰囲気がある設置環境や水を扱うような場所では、『SLAMfシリーズ』エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータなら、実証済みの「SLA5800ファミリー」ならではの高い精度と長期安定性を実現します。 用途 ■ 石油化学および化学ガスのパイロットプラント ■ ライフサイエンスバイオリアクタ ■ 食品加工におけるブランケティング

GP200シリーズは、半導体用途専用に設計された、初めての完全圧力非感応型PMFCです。GP200の独自の差圧技術と最先端のセンサー・バルブ構成により、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの限界を取り除き、業界で最も広範囲かつ正確なプロセスガスコントロールを可能にします。 Brooksは世界で初めてガス種と流量範囲の再設定が可能なMFCを開発し、リリース以降もガスモデルを刷新し続けており、同じ機能がGP200にも組み込まれています。多くのガス種と幅広い流量範囲への再設定を容易に行うことができ、幅広いプロセスに柔軟に対応します。 GP200の超高速で再現性の高いバルブコントロールと圧力変動耐性により、極端に供給圧力が変動した場合でも、チャンバーへの精密な流量制御を維持し、よりタイトなプロセス制御を可能にします。GP200プラットフォームは幅広いプロセス条件をサポートし、従来の圧力ベースのマスフローコントローラの多くを交換または、アップグレードすることが可能です。

＜掲載内容＞ マスフローコントローラ / マスフローメータ プレッシャーコントローラ 面積式流量計 圧力・真空製品 セカンダリエレクトロニクス & ソフトウェア 通信プロトコル サービス＆サポート 主な特徴や性能を見やすくまとめたプロダクトガイドです。 是非、ご活用ください。

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料を公開中！ ⚫ ガラスコーティング ⚫ Low-E ガラスとは ⚫ Low-E コーティングの積層と材料 ⚫ アプリケーションの要件 ⚫ Low-E コーティング技術とは ⚫ ガラスコーティング市場 是非、ご一読くださいませ。 https://mono.ipros.com/news/detail/129167/

日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には想像 できなかったような機能を備えています。このような高性能を実現した のは、以下のような幅広い用途で利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 【PVDとCVDの技術】 ⚫ PVDとは ⚫ CVDとは ⚫ 熱フィラメントCVDとは ⚫ プラズマCVDとは ⚫ CVDプロセス ⚫ CVDアプリケーションの範囲 ⚫ バッテリー市場 ⚫ バッテリー市場で活用される薄膜技術 是非、ご一読ください https://mono.ipros.com/news/detail/129945/

CVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例をご紹介 日常的に小型化、高性能化が進む世界。携帯電話も、数年前には 想像できなかったような機能を備えています。 このような高性能を実現したのは、以下のような幅広い用途で 利用されている薄膜技術のおかげです。 【薄膜技術　ご利用用途】 ・マイクロエレクトロニクス ・ガラスの反射防止膜 ・医療機器への抗菌性金属コーティング ・フレキシブルな太陽電池 薄膜技術とは、「基板表面と呼ばれる対象物に薄膜材料を作成、 コーティング、加工するプロセス」と定義されています。 薄膜技術の説明やCVDとPVDの比較や流量計と圧力計の応用、 プロセス制御のデジタル化とアプリケーション事例を ご紹介いたします。是非、ご一読くださいませ。 ★CVDとPVDの説明をさらに掘り下げた基礎知識や、 ガラス業界向けのガラスコーティングに関する基礎知識資料も進呈！ https://mono.ipros.com/news/detail/128269/

Brooks汎用マスフローコントローラ製品群に、バイオプロセス専用マスフローコントローラが加わりました。今回は本製品と特徴的なメリットをご紹介いたします。 １．ガス種毎に必要であったMFC予備品が1台で賄えます。 ２．1:250の制御レンジにより高精度・高精密な流量コントロールが 　　可能になり、MFC台数を削減できます。 ３．バイオリアクターニーズにおいて、ベンチトップタイプから 　　大型ステンレス槽まで幅広く対応。シングルユース／マルチユース 　　共に豊富な採用実績がございます。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/news/2019/japan-pr201909-biotechoption より詳しい製品の仕様及び採用事例、メリット等についてはぜひお問い合わせください。流量制御とバイオリアクターに精通した担当者がご案内させていただきます。

ホットメルトエクストルージョン（HME）は、熱と圧力を加えてポリマーを溶かし、連続プロセスで型に押し出す方法です。HMEはプラスチック産業で広く応用されており、最近では医薬品の剤形やドラッグデリバリーシステムに使用されています。 HMEプロセスは、医薬品の有効成分 (API) をポリマーおよびその他の賦形剤と高温高圧で混合するために使用されます。押し出された材料は、カプセルへの充填や、錠剤への圧縮のために、マイクロペレットに切断または粉砕することができます。 ハイライト: 超臨界CO2の質量流量の測定と制御 低温（-30℃以下）でも正確な流量を実現 プロセスソリューション: Brooks InstrumentのQuantimコリオリ式マスフロー流体の計測と制御の信頼性が高いため、このマスフローを用いたシステムでは、ポンプの動作速度ではなく、実際に注入する液体CO2の質量流量を測定し、制御することが可能となりました。HMEプロセスのように、CO2が臨界温度と臨界圧力以上に保たれている場合、それは超臨界状態となります。

低放射率（Low-E）コーティングを施した建築用ガラスは、最も人気のある機能的な建築材料の一つとなっています。熱損失と内部結露を最小限に抑えることで、建築物のエネルギー効率と省エネルギー性を向上させる重要な役割を担っています。ガラスに施されたコーティング（薄膜）は、ガラスを通過する可視光エネルギーの流れを制御します。このコーティングは、赤外線、可視光線、紫外線など、電磁スペクトルの異なる部分における光の透過、反射、吸収の特性を変化させる。 建築用ガラスを建物の内部から見た場合、Low-eガラスはエネルギーを建物内に反射させ、通常のガラスよりもはるかに低い熱損失を実現します。建物の外側から見ると、Low-Eガラスは、太陽エネルギーの可視部分を透過し、赤外線部分を最小化することで、建物からの熱損失を低減しています。 続きはこちら https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/glass-coating-manufacturers-stable-reliable-gas-flow-delivery-and-low-pressure-control

チタンは、対象となる製品に非常に硬い窒化チタン(TiN)コーティングを形成するために、こうした用途で頻繁に使用されます。チタンコーティングは、その金色の外観から、装飾目的で宝石、家庭用器具、自動車のトリムによく使用されています。同様のコーティングは、医療機器や器具の表面に無害なものとして使用されることもあります。この種のコーティングは現在、生体内バイオセンサーを含む高度なバイオメディカルデバイスの用途にも応用されています。 窒化チタンのコーティングには、一般的にCVDプロセスが使用されています。このプロセスでは、複数の化学物質(TiC14、N2、H2)を炉に供給し、高温で反応させて窒化チタンを生成し、コーティングとして表面に堆積させます。コーティングの完全性、適切な厚み、均一性にとって重要なのは、これらの材料を炉に正確に送り込むことです。 ▽続きはこちらをご覧ください。 https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/blog/titanium-nitride-coating-using-cvd-process

EtherNer/IPモデルでは、デスクトップの研究室レベル規模で組んだシステムを製造レベルへスケールアップする際、単体制御からレシピコントロールまでの仕様変更が、比較的容易に実施することが出来ます。 SLA5800シリーズは、3cc/毎分～最大2500L/毎分の流量までラインアップされており、レシピやインタフェースを使い、パラメータを最大容量に合わせるよう調整することで、スケールアップを行うことが可能です。評価システムでMFCを入れ替えたり増設する際も、LANケーブルと電源ケーブル準備だけで、その他ハードウェアを介さず可能です。フレキシブルなシステム変更のほか、省スペース化とメンテナンス性の向上へも大きく寄与します。 同時にIoT化も可能です。遠隔操作をPCベースで組み込むことも、低いハードルで実施可能です。SLA5800シリーズ バイオパッケージでは、FDA準拠のエラストマーを採用。証明書類・エビデンス対応も可能でありながら、従来品比でバルブ閉鎖時の遮蔽率をアップし、特に酸素の制御ではより精密な溶存酸素量(DO)の調整が可能になります。 ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント

抗体医薬品、ワクチンを含むバイオ医薬品の原薬製造工程では、ウイルスや細胞など生物を培養しスケールアップすることが目的となり、 対象のウイルス・細胞などの生物が生きやすい環境を整えることが必要になります。研究開発部門は、細胞やウイルスごとに最適な環境を日々模索されていますが、 空気、酸素、窒素、二酸化炭素の流量を調整し、最適濃度を整えること、 またpHや溶存酸素濃度のモニタ結果と連動して、各気体の流量を調整し濃度を一定に保ち 、整った環境を維持することが重要になります。 特に酸素では小流量でも溶存酸素濃度が急激に上がってしまうこともあるなど、流量の精密な制御が求められます。 SLA5800シリーズは、旧世代の5800E/iシリーズから引き続いて、多くの培養装置、培養設備で採用実績があり、出荷台数ベースも大きくメンテナンス継続性も 安定した製品群になります。 ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント

抗体医薬をはじめとするバイオ医薬品製造におけるガス流量制御・マスフローコントローラの重要性は度々ご紹介しております。 今回は医療機器におけるマスフローコントローラ／流量計のアプリケーションをご紹介いたします。 呼吸器関連の医療用具製造/機器制御において流量計やマスフローコントローラをご利用いただいております。キーファクターは、呼吸気の酸素及び二酸化炭素濃度を適正な割合で保持し、血中濃度を適正化することになります。空気／酸素のガス流量を精密に調整し送り込むことが必要になります。 要求事項は、呼吸気に適正な濃度を維持できるようガス流量を調整し混合／ブレンドする機能になります。また医療用具／機器として適切な素材を使用しているか、についても重要な要素になります。 ガスブレンダー用途には面積式流量計（バルブ付きを含む）、SLA5850シリーズ マスフローコントローラ、必要とする4種類のガス校正データをプリインストールしUSP規格適合素材を使用した SLA5850 Biotechパッケージ を始めとする製品群を取り揃えております。 ITWジャパン株式会社ブルックスインスツルメント

SLA5800シリーズが防爆構造電気機械器具型式検定 （国内防爆: DEK20.0062X）に合格いたしました。 対象の製品は、以下の通りです。 ● マスフローコントローラー SLA585xシリーズ ● マスフローメーター SLA586xシリーズ ● プレッシャーコントローラー SLA5800シリーズ ※プレッシャーコントローラーは国内防爆に対応する唯一の製品です。 販売の体制が整いましたので、ご注文を承ります。 納期・価格・仕様の詳細につきましては下記または弊社の代理店までお問い合わせください。 ----------------------- お問い合わせ先 ITWジャパン株式会社 ブルックスインスツルメント 〒136-0073 東京都江東区北砂1-4-4 電話：03-5633-7125 Email: Sales-Japan@brooksintstrument.com

先進的なストリップ、および金属エッチング後のパッシベーションプロセス向けに作られたVDM300は、フラッシュ気化システムと比較して、優れた精度、大流量率、幅広い制御範囲、低電力消費を実現します。 VDM300の特長 １．流量レンジ：3 slpm(DIW蒸気) ２．優れた流量精度を実現する直接水蒸気測定 ３．プラント内純水供給装置に直接接続 ４．最低温度（非過熱状態）でも動作可能 ５．水洗および排水用に最適な設計 ６．EtherCATデジタルコミュニケーション ７．Brooks Expert Support Tool (BEST)グラフィカルインターフェース https://www.brooksinstrument.com/ja-jp/about-us/news/2019/japan-pr201904-vdm300datasheet