多槽式ウェハ洗浄装置

RCA洗浄や各種エッチングに対応！薬液・純水の使用量やフットプリントを大幅に削減します

最終更新日 2026年02月17日

枚葉式スピン洗浄装置

多彩なチャンバー形態で様々なプロセスニーズに対応！ワークサイズは2インチ～12インチウェハ

最終更新日 2026年02月17日