半導体ウエハ洗浄装置【一品一様でカスタマイズ対応可能】

2~12インチのウエハに対応している。一品一様でカスタマイズ可能。

最終更新日 2026年04月07日

大基板(パネルレベル・角基板)現像装置

現像処理からリンス、スピン乾燥までの一連のプロセスを自動で実行！

最終更新日 2026年03月06日

両面スクラブ洗浄装置

独自のシャフト中心給水方式でローラーブラシを徹底洗浄！

最終更新日 2026年03月06日

薬液スクラブ洗浄装置

ディスクブラシ洗浄に薬液洗浄を加えた少量生産対応の洗浄装置をご紹介！

最終更新日 2026年03月06日

多槽式ウェハ洗浄装置

薬液や純水の使用量を大幅に削減！フットプリントを大幅に縮小

最終更新日 2026年03月06日

枚葉式レジスト剥離装置

剥離・リンス・スピン乾燥までの各工程を自動で処理するシステムをご紹介！

最終更新日 2026年03月06日

枚葉式スピン洗浄装置

複数のチャンバー形態で、複合プロセスニーズに対応した枚葉マルチスピンプロセッサー！

最終更新日 2026年03月06日

枚葉式スピン現像装置

パドル現像・スプレー現像・リンス・スピン乾燥までの各工程を自動で処理！

最終更新日 2026年03月05日

レジストコーター

量産対応・少量生産対応！レジスト塗布・ベーク・冷却の一連の工程を自動で処理するシステム

最終更新日 2026年03月05日