大塚電子株式会社 公式サイト

ラインスキャン方式の採用で「抜け」のない全面検査を実現！

【仕様】 ■膜厚範囲：0.1～300 μm ■測定幅：最大300 mm ■測定間隔：50 ms～ ■装置サイズ(W×D×H)：660×950×1000 mm ■重量：約120 kg ■最大消費電力：AC100V±10％ 125VA ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

各種ウェーハの厚み測定や、各種研削・研磨・貼り合わせなどへのプロセスへの組み込みに！　

■多層厚み測定が可能 ■テンポラリーウェーハ(仮貼り合わせウェーハ)の各層厚み測定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊で反射率、色などの測定が可能

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

インラインフィルム評価システムは、光学式のため非接触・非破壊で透過率、吸光度、色などの測定が可能

※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

nmオーダーの透明な異物・欠陥の評価が可能！フォーカス不要で高速測定　目視では見えないフィルム表面を可視化・定量化

【仕様(一部)】 ■分解能(x,y)：691nm(ワンショット)、488nm(合成) ■視野(x,y)：700×700μm ■分解能(z)：10nm(位相差) ■視野(z)：±700μm ■サンプルサイズ：100×80×t20mm(汎用サンプルホルダ取付時) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

約1.1kgの持ち運べる膜厚計。最薄0.1μmから最大100μmまで、検量線不要で操作簡単　＜デモ機を無料貸し出し中＞

【そのほかの特長】 ■光干渉法により非接触・非破壊で測定が可能 ■基材（ガラス・プラスチック）を選ばず測定可能 ■最大3層の多層膜を測定可能 ※製品の詳細は、PDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。

使いやすさにこだわった粒径・粒度分布測定装置

【測定範囲（理論値）】 ■粒子径 0.6nm～10μm ■濃度範囲 0.00001～40％ ■温度範囲 0～90℃ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。