半導体故障解析用プラズマ・エッチング装置

ICの絶縁層を除去！フットプリントが小さく、費用対効果の高いシステム

最終更新日 2023年05月12日

バッチ式化合物半導体量産機プラズマCVD・プラズマエッチング装置

フランスで設計・製造された業界最小、ウエハトレイのみ交換で2～12インチウエハ対応、Corial 300・500シリーズ

最終更新日 2024年09月04日

半導体デバイス故障解析ソリューション

ドライエッチングプロセスにおいて、正確な絶縁層及びメタル層の露出が可能！

最終更新日 2024年10月09日

【研究・開発用途向け】フォトマスクドライエッチング装置

フォトマスクの新規開発に携わる方必見！コンパクトな設計で、様々なサイズのフォトマスク・ウエハの処理が可能なドライエッチング装置

最終更新日 2025年06月10日