イオンビーム　エッチング・成膜装置『QuaZar』

総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実現

最終更新日 2023年05月19日

卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』

教育機関や小規模施設などに！タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システム

最終更新日 2023年07月13日

イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

R＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約3倍の長寿命化

最終更新日 2024年06月14日

マルチパーパスエッチング・成膜ソリューション

故障解析、MEMS、光MEMS、先端パッケージングなど、幅広い市場向けのエッチング及び成膜が可能！

最終更新日 2024年10月09日

強誘電体イオンビームエッチングソリューション『QuaZar』

不活性ガスArエッチングと反応性ガスによるエンハンスドRIBEが可能！

最終更新日 2024年10月09日

ダメージフリーイオンビーム成膜ソリューション『QuaZar』

ウェーハステージの傾斜/回転機能により、フィーチャーセッティングが可能！

最終更新日 2024年10月09日

「セミコンジャパン2024」出展及びセミナー開催のお知らせ

セミナーでは、HDRF-高密度ラジカルで、ポリマー、HDIレジストを低温除去できる新技術などをご紹介予定

最終更新日 2024年11月28日

MEMS Engineer Forum - 技術展示のお知らせ

MEMS加工の精度と効率を向上！高精度エッチング・成膜技術をご紹介いたします。　※4月16日 ～ 4月17日開催

最終更新日 2025年03月21日