オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

最終更新日 2024年04月02日

F.A.S.Tソリューション

高い成膜レートを有する高品質な酸化物、窒化物、メタル成膜が可能！

最終更新日 2024年10月09日

航空宇宙工学・医療用スパッタリングソリューション

航空宇宙工学用光学膜、医療・バイオ用光学膜用ハイエンドスパッタリングプロセスが可能！

最終更新日 2024年10月09日

ナノマテリアル成膜ソリューション

ナノマテリアル(金属ナノ粒子、ナノワイヤー、ナノシート、ナノエレクトロニクス用材料)用薄膜の成膜に好適！

最終更新日 2024年10月09日

バックサイドメタライゼーションソリューション『ECLIPSE』

DCパルススパッタリングが可能(導電性ターゲット使用した絶縁膜のリアクティブスパッタ)！

最終更新日 2024年10月09日

強磁性膜・固体電解質成膜ソリューション

研究開発及び小規模生産用イオンビームスパッタリング装置！

最終更新日 2024年10月09日