すべての製品・サービス
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シームレス金属ベルトとコンベアシステム -無塵・無菌搬送-
継ぎ目のない金属ベルトはPIC/S GMP Annex1 , HACCPなど、衛生要件レベルの高い環境で真価を発揮します
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装置修理・延命化サービス
貴社の装置を ボルトオン、カプラーオンで延命化いたします
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受託成膜サービス（高品位反応膜などの試験成膜）
新たな素材探索や成膜プロセスの構築をサポートいたします
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-昇華精製とは- 先進技術による昇華精製装置の進化 ※動画あり
-昇華精製とは- すべては昇華精製の再定義から始まった -The QUANTIpure-
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Plasma Quest Limited 企業紹介
リモートソース型イオンビームスパッタ装置 リモートプラズマソースの開発メーカー
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リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
リアクティブスパッタ、合金スパッタを自在にコントロールしての成膜を実現します
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イオンビームエッチング・ミリング（IBE）装置
高レート・高信頼性を実現した生産用イオンビームミリング装置
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高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）
誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜
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マグネトロンスパッタカソード『ONYXシリーズ』
高機能・高品質なマグネトロンスパッタカソード！ 販売・修理/メンテも対応可能
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高速成膜ALD装置『FHR.STAR-400x300SALD』
In-Situのエリプソメーターや透過型分光器に対応！独FHR社製高速成膜ALD装置
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有機材料用蒸着源 Creaphys DEシリーズ
R＆Dや少量生産用にデザインされた有機材料用蒸着源です。 50℃から800℃まで広範囲で安定した使用が可能です。
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スパッタリング装置FHR.Star100-Tetra-Co
FHR Star.100-Tetra CoはMEMSや高機能光学製品向けに設計された非常にコンパクトなスパッタリング装置です。
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FHR.Roll.1600-FCCLスパッタリング装置
FCCL（フレキシブル銅張積層板）製造用高スループットロール to ロール型スパッタリング装置
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高純度高収率 昇華精製装置
超高純度と高収率の両立 5gの少量精製から10kgまでの量産精製に対応。省スペースで設置できる縦型設計
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リモートイオンソース型 HR-PVDスパッタリングモジュール
指向性成膜を実現し、リアクティブスパッタリングも可能な高イオン電流ヘリコンプラズマイオンソースPVDモジュール
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受託昇華精製サービス（超高純度 超高収率での受託精製）
最新の昇華精製装置と設備による超高純度・超高収率での受託昇華精製サービス
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【MBraun社】真空薄膜形成 蒸着ソース
実験用の少量蒸着ソースから生産用の大型リニアソース並びに実験用の蒸着装置をご提供！
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MBraun社について
独MBraun社製品のご紹介！有機材料用プロセスの専門メーカーです
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金属ベルトとプーリーの設計ガイドおよび技術者用参考資料
金属ベルトの基本設計事項の参考資料として提供！各種用途や設計における考慮事項などを掲載！
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FHR Anlagenbau GmbHについて
優れた技術力！高品質の結合スパッタリングターゲットを提供するFHRについてをご紹介
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超薄膜成膜技術 Atomic Layer Deposition
R＆D活動および工業規模での量産用に設計！カスタムメイドのリアクターツールを提供しています
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高精密光学フィルター成膜用マグネトロンスパッタ装置
「FHR.Star.600-EOSS」は、精密な光学フィルター成膜用として開発された高機能マグネトロンスパッタ装置です。
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スパッタリング装置『Star.500-EOSS(R)』
光学用の多層膜を高均一かつ再現性に優れた成膜を行う事を目的に開発！
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