150mm開口高精度XYステージ V-738
動作量は102×102 mmで、リニアモータとリニアエンコーダで、最小動作0.02µm、最大速度500 mm/sを実現
PI Magリニアモータ駆動のV-738は、光学式インクリメンタルエンコーダによりシステム分解能1 nm XY方向それぞれ102 mmのストロークで、最大速度500 mm/s コアレスのため速度リップルが小さく、低速域でも滑らかな動作 150 mm四方の開口により、レーザ光学ヘッドや検査カメラを内部に配置でき、装置の省スペース化に貢献 動作直交度：±97 µrad、真直度±2 µmの動作精度と、100 Nの耐荷重 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【特長】 ■移動範囲：102 mm×102 mm（4 "） ■150x150mmの大きな開口部 ■一方向再現性：0.1μm ■速度：500 mm/s ■三相リニアモータ ■高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ 【技術データ（抜粋）】 ■トラベルレンジ：102×102mm ■内蔵センサ：Incremental linear encoder ■設計分解能：0.001μm ■センサ信号：Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 μm signal period ■リファレンスリミットスイッチ：光学式 ■ガイド：Recirculating ball bearing ■モータタイプ：アイロンレス3相リニアモータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【応用分野】 ■医療産業 ■レーザー切断 ■スキャニング ■バイオテクノロジー ■計測学 ■AOI（自動光学検査） ■顕微鏡検査 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
