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【高品質・高性能】『スピンスクラブ洗浄装置シリーズ』のご紹介！
量産向け新型【自動スクラブ洗浄装置】と、シリーズ累計200台以上の【フォトマスク洗浄装置】を御紹介します。
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《新型》UDSスピン枚葉装置（レジスト剥離/リフトオフ系）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
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セミオートSPINDipスピン枚葉装置 リフトオフ・レジスト剥離
《新型》社内デモ機でさまざまなサイズや基板種、デバイスパターン状態に対応！好適な形にカスタマイズ
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Vertical & Spin枚葉リフトオフ装置
有機剥離にもご使用可能！サイクロンや複合金網でフィルター負荷の大幅低減できます
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全自動バッチ処理装置（基板再生・エッチング・RCA洗浄等）
高スループット 高信頼性 低コストなバッチ式処理装置
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《新型》セミオートUDSスピン枚葉装置
RCAは勿論、現像、エッチング、洗浄、剥離、リフトオフなど！各種プロセス処理に対応実績多数
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小型マルチスピンプロセッサー エッチング・洗浄・現像
スキャン時には周速制御による均一性向上も可能！従来より多数の御使用を戴き実績も豊富
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卓上スピン洗浄装置
上位機種と同等の高い洗浄性能が得られます。
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大型基板用全自動フォトリソ処理装置
フォトリソプロセス一貫処理が可能
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大型基板用レジストコータ
チャンバー内の気流制御はもちろん、メンテ性に優れるレジストスピンコートユニット
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セミオートレジストコーター
レジストコート剤の粘度に応じた好適加速度選択が可能！メンテ性にも気配りをしております
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フォトマスク洗浄装置（セミオート）
シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。
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《新型》UDSスピン枚葉装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）
フットプリント・購入コストの大幅低減とスループットUp・基板品質大幅向上
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《新型》SpinDipプロセッサー リフトオフ・有機剥離・バリ取
ウルトラソニック超音波をスピン枚葉装置に搭載実用化！
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《新型》スピンスクラブ自動洗浄装置 （CMP後・研磨後洗浄）
量産現場向け 高信頼性自動スクラブ洗浄装置
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スピン＆コンベア処理装置 （エッチング・洗浄・剥離）
高品質基板を高スループット 且つ 低コストで提供可能！
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スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）
高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置
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エキシマUV表面処理装置
ウェット処理との組合わせ自動処理でプロセスの高品質化
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