UV(紫外線)硬化装置｜高圧水銀ランプ仕様「UVC-512」
ワークを回転させながら照射させるため、ウェハー全領域に均一なUV照射を行なう事が可能
基本情報
独自の高効率、小流量N2パージ機能の搭載により、N2の使用量が従来装置と比べてはるかに少なく、しかも確実な置換効果が得られる。 高圧水銀ランプ仕様。 300mm／12”対応。 サイズ： 650(W)×800(D)×980(H)。
価格帯
納期
型番・ブランド名
UVC-512
用途／実績例
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この製品に関するニュース（3）
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UVフィルム硬化装置「UVC-512B」デモテスト受付開始しました
株式会社テクノビジョンは、この度 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」のデモテストの受付を開始致しました。 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」 主な特徴 ・従来の安定したUV照射機能はそのままに、新たにUV センサーを搭載して、レシピ設定が容易になりました。 ・スライドテーブル開閉機構からエアシリンダーを排して、より安全な機構を採用しました。 ・動作履歴、異常履歴のロギング機能を搭載しました。 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL：049-299-1385 E-Mail： technovision.info@techvision.co.jp
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スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243【デモ機貸出開始】
株式会社テクノビジョンは、この度「スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243」のデモ機貸出しを開始致しました。 スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243 主な特徴 ・ワーク厚みの違いによる高さ調整機が不要で、細かな作業がなくなります。 ・慣れない作業者でも容易に貼り付けを行うことが可能です。 ・さらにヒーターユニットも搭載可能となります。 ・8inchまたは、12inchワーク対象 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL：049-299-1385 E-Mail： technovision.info@techvision.co.jp
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簡易洗浄ユニット発売のお知らせ
このたび、マスク洗浄を補助する、『簡易洗浄ユニット』をご用意いたしました。 簡易洗浄ユニットは、以下の「ケミカルユニット」、「スクラブユニット」、「ドライユニット」の3種類ございます。 ・ケミカルユニット：マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。 ・スクラブユニット：マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。 ・ドライユニット：洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。 簡易洗浄ユニットは、お客様が既にご使用されている設備と併用して各ユニットのご選択ができます。 「加熱出来る薬液浸漬槽でレジストを溶解・剥離したい！」 「ブラシでスクラブ洗浄したい！」 「乾燥シミが気になるので乾燥だけがほしい！」 等々のご要望があれば、先ずはご相談ください。 組合せは自由に対応できます。
取り扱い会社
株式会社テクノビジョンは、1987年9月創業以来、洗浄技術、組立技術をコアーに自社製品の開発、製造、輸出入業務に取り組んでおります。 今日のハイテク産業の中でお客様のニーズにお応えし、お客様の立場に立った視野で技術、製品、及びサービスの提供を目指していく所存でございます。
