フィルム貼付装置|マニュアルマウンター FM-224シリーズ
研究開発を始め、セミプロダクション用途まで目的に合わせ幅広く装置の選択が可能
ウェハーマウンター/テープマウンターとは、『ウェハー』『ダイシングフレーム』『各種フィルム/テープ』を気泡なしで瞬時に貼り付けるテープ貼り付け装置です。 ダイシングの工程で重要とされる”ウェハーへの均一なテープ貼り付け”を、容易に行うことができます。 テクノビジョンのウェハーマウンターは、研究開発を始めセミプロダクション用途まで、目的に合わせ幅広く装置の選択ができます。 マニュアルタイプのウェハーマウンターワークサイズは、 ■300mm(12インチ) ■200mm(8インチ) ■150mm(6インチ)と3機種を取り揃えています。 (無料貸出用デモ機もご用意) また、用途別にダイシング用途やバックグラインド用途として仕様別の装置があります。 貼付け対象はウェハーに限らず、パッケージ、ガラス、セラミック等様々なワークに対応出来るほか、ユーザーの特殊仕様に柔軟に合わせたカスタム対応も可能です。
基本情報
■主な特長 ・瞬時にバブルフリー貼り付けが出来ます。 ・貼付けローラーの自動平衡機構内蔵。 ・円周カッター内蔵。 ・水平カッター内蔵。 ・セパレーター巻き取り機構内蔵。 ・オプション:ヒーターユニット、ダンパー、静電気対策
価格帯
納期
型番・ブランド名
FM-224シリーズ
用途/実績例
【ダイシング用途】 ダイサーによるウェハーダイシング後、チップがバラバラにならないよう、ダイシング時にカットされるウェハを保持するために裏面にダイシングテープを貼り付けます。 【保護(バックグラインド/BG)用途】 ウェハーの薄層化等のためにウェハー裏面のバックグラインドを実施する際、表面の回路を保護するために保護用テープを貼り付けます。 【その他】 フィルム貼付けでの他ロール状フィルムの対応が可能です。(DAF貼付け、レジストフィルム貼付け等)
関連動画
ラインアップ(6)
型番 | 概要 |
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FM-2243 | 12インチまで|装置サイズ:510mm(W)x 860mm(D)x 330mm(H) |
FM-2248 | 8インチまで|装置サイズ:455mm(W)x 780mm(D)x 300mm(H) |
FM-2246 | 6インチまで|装置サイズ:375mm(W)x 760mm(D)x 230mm(H) |
FM-2243-BG | 12インチまで バックグラインド:300mm/12、BG用途対応装置 |
FM-2248-BG | 8インチまで バックグラインド:200mm/8 BG用途対応装置 |
FM-2246-BG | 6インチまで バックグラインド:150mm/6 BG用途対応装置 |
カタログ(2)
カタログをまとめてダウンロードこの製品に関するニュース(3)
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株式会社テクノビジョンは、この度 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」のデモテストの受付を開始致しました。 UVフィルム硬化装置「UVC-512B」 主な特徴 ・従来の安定したUV照射機能はそのままに、新たにUV センサーを搭載して、レシピ設定が容易になりました。 ・スライドテーブル開閉機構からエアシリンダーを排して、より安全な機構を採用しました。 ・動作履歴、異常履歴のロギング機能を搭載しました。 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL:049-299-1385 E-Mail: technovision.info@techvision.co.jp
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スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243【デモ機貸出開始】
株式会社テクノビジョンは、この度「スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243」のデモ機貸出しを開始致しました。 スプリングチャック式 マニュアルマウンター FM−2248/2243 主な特徴 ・ワーク厚みの違いによる高さ調整機が不要で、細かな作業がなくなります。 ・慣れない作業者でも容易に貼り付けを行うことが可能です。 ・さらにヒーターユニットも搭載可能となります。 ・8inchまたは、12inchワーク対象 詳しくは製品担当までお問い合わせください 株式会社テクノビジョン TEL:049-299-1385 E-Mail: technovision.info@techvision.co.jp
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簡易洗浄ユニット発売のお知らせ
このたび、マスク洗浄を補助する、『簡易洗浄ユニット』をご用意いたしました。 簡易洗浄ユニットは、以下の「ケミカルユニット」、「スクラブユニット」、「ドライユニット」の3種類ございます。 ・ケミカルユニット:マスク表面に付着したレジスト残渣や昇華物を推奨薬液にて溶解・剥離を行います。 ・スクラブユニット:マスク表に付着したパーティクル等の汚れを推奨薬液と洗浄ブラシの併用でスクラブ洗浄を行います。 ・ドライユニット:洗浄されたウエット状態のマスクを温水引上げにて乾燥を行います。 簡易洗浄ユニットは、お客様が既にご使用されている設備と併用して各ユニットのご選択ができます。 「加熱出来る薬液浸漬槽でレジストを溶解・剥離したい!」 「ブラシでスクラブ洗浄したい!」 「乾燥シミが気になるので乾燥だけがほしい!」 等々のご要望があれば、先ずはご相談ください。 組合せは自由に対応できます。
取り扱い会社
株式会社テクノビジョンは、1987年9月創業以来、洗浄技術、組立技術をコアーに自社製品の開発、製造、輸出入業務に取り組んでおります。 今日のハイテク産業の中でお客様のニーズにお応えし、お客様の立場に立った視野で技術、製品、及びサービスの提供を目指していく所存でございます。