フィルム貼付装置｜真空マウンター TV-150/200 /300
研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデル
「TV-150/TV-200/TV-300」 は、真空環境下でウェーハをダイシングテープに貼り付ける標準タイプの真空マウンターです。貼付工程を真空チャンバー内で行うことで、大気中貼付で問題となりやすい気泡の残留を抑制し、ウェーハ全面にわたって均一で再現性の高い貼付品質を実現します。 コンパクトで幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルとなっています。 TV-150：150mm（6インチ） TV-200：200mm（8インチ） TV-300：300mm（12インチ）
基本情報
■主な特長 真空貼付方式 真空中で貼付を行うことで、気泡混入を抑制し、安定した貼付を実現。 高い再現性 真空圧・プロセスタイムを数値管理することで、作業者によるばらつきを低減。 ウェーハへの低負荷設計 過度な機械的加圧を必要とせず、薄ウェーハや脆性基板にも対応。 幅広い材料に対応 シリコン、ガラス、セラミックスなど各種基板に対応。 直感的な操作性 タッチパネルによる簡単操作。条件設定はパスワード管理が可能。 ■主な仕様 フレームサイズ：DTF2-8-1 装置寸法：360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) 重量：29kg 必要到達真空（絶対圧）：0.2 kPa 推奨排気速度：約320 L/min（19 m³/h） 必要エア圧：0.4～0.6 MPa 入力電源：AC100V 50/60Hz
価格帯
納期
型番・ブランド名
TV-150/ TV200 / TV300
用途／実績例
【真空貼付け】研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデル
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TV-150 / TV-200 / TV-300 | 標準モデル |
| TV-200H / TH-300H | 加熱モデル |
| TV-200T | TAIKO(R) ウェーハ対応モデル |
| TV-200TH | TAIKO(R) ウェーハ・加熱対応モデル |
カタログ（3）
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この製品に関するニュース（2）
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」4タイプ、7モデルの販売を開始しました。
新製品「真空マウンター」シリーズ製品情報を公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。 詳しい製品情報は、各製品詳細ページをご覧ください。
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」カタログを掲載しました。
新製品「真空マウンター」シリーズカタログを公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
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