フィルム貼付装置｜真空マウンター TV-200H / 300H
温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデル
「TV-200H/TV-300H」は、真空貼付方式に加熱機能を組み合わせた加熱真空マウンターです。貼付ステージを加熱することで、粘着テープの特性を安定させ、真空貼付との相乗効果により、より均一で再現性の高いマウンティング品質を実現します。 温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデルとなっています。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200H：200mm（8インチ） TV-300H：300mm（12インチ）
基本情報
■主な特長 加熱チャック搭載 貼付ステージを加熱することで、粘着剤の流動性を制御し、貼付品質を安定化。 真空＋温度のプロセス管理 真空圧・温度・時間を数値管理し、再現性の高い工程を実現。 貼付ムラ・気泡の抑制 真空環境下での加熱貼付により、気泡混入や貼付ムラを低減。 幅広いテープに対応 加熱を必要とする各種ダイシングテープ、保護テープに対応。 ■主な仕様 モデル 【TV-200H】 【TV-300H】 フレームサイズ： DTF2-8-1 DTF2-12 最高温度： ～100°C 装置寸法385mm(W)×600mm(D)×815mm(H)470mm(W)×750mm(D)×893mm 重量 40.4kg 43kg 必要到達真空（絶対圧）：0.2 kPa 推奨排気速度：約320 L/min（19 m³/h） 必要エア圧：0.4～0.6 MPa 入力電源 ＜装置本体＞AC100V 50/60Hz X 1, ＜温調器＞AC110V 50/60Hz X 2
価格帯
納期
型番・ブランド名
TV-200H / TV-300H
用途／実績例
【加熱+真空貼付け】温度条件が貼付品質に影響する工程や、工程ばらつきを抑えたい用途に適したモデル
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TV-150 / TV-200 / TV-300 | 標準モデル |
| TV-200H / TH-300H | 加熱モデル |
| TV-200T | TAIKO(R) ウェーハ対応モデル |
| TV-200TH | TAIKO(R) ウェーハ・加熱対応モデル |
カタログ（3）
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この製品に関するニュース（2）
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」4タイプ、7モデルの販売を開始しました。
新製品「真空マウンター」シリーズ製品情報を公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。 詳しい製品情報は、各製品詳細ページをご覧ください。
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」カタログを掲載しました。
新製品「真空マウンター」シリーズカタログを公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
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