フィルム貼付装置｜真空マウンター TV-200TH
TAIKO(R)ウェーハ対応のメンブレン貼付方式と加熱機能を組み合わせたモデル
「TV-200TH」は、TAIKO(R)ウェーハ対応のメンブレン貼付方式と加熱機能を組み合わせた真空マウンターです。 真空環境下でのラジアル貼付により、TAIKO(R)ウェーハ特有の外周段差や薄肉部に対する応力集中を抑制し、さらに加熱チャックによって粘着テープの特性を安定化させることで、高い貼付均一性と再現性を両立します。 薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルです。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200TH：200mm（8インチ） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
基本情報
■主な特長 TAIKO(R)対応メンブレン貼付方式 柔軟なメンブレンを介して圧力を伝え、段差や曲面を有するウェーハにも均一に追従。 ラジアル貼付による低応力化 中心から外周へ貼付を進めることで、外周部への応力集中や気泡混入を抑制。 加熱チャック搭載 貼付ステージを加熱することで、粘着テープの流動性を制御し、貼付品質を安定化。 真空・温度・時間の統合管理 主要プロセス条件を数値で管理し、高い工程再現性を実現。 ■主な仕様 フレームサイズ：DTF2-8-1 最高温度：～100°C 装置寸法：360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) 重量：29kg 必要到達真空（絶対圧）：0.2 kPa 推奨排気速度：約320 L/min（19 m³/h） 必要エア圧：0.4～0.6 MPa 入力電源 ＜装置本体＞AC100V 50/60Hz X 1 ＜温調器＞AC110V 50/60Hz X 1
価格帯
納期
型番・ブランド名
TV-200TH
用途／実績例
【TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け】薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデル
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TV-150 / TV-200 / TV-300 | 標準モデル |
| TV-200H / TH-300H | 加熱モデル |
| TV-200T | TAIKO(R) ウェーハ対応モデル |
| TV-200TH | TAIKO(R) ウェーハ・加熱対応モデル |
カタログ（3）
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この製品に関するニュース（2）
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」4タイプ、7モデルの販売を開始しました。
新製品「真空マウンター」シリーズ製品情報を公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。 詳しい製品情報は、各製品詳細ページをご覧ください。
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」カタログを掲載しました。
新製品「真空マウンター」シリーズカタログを公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
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