フィルム貼付装置｜真空マウンター TV-200T
TAIKO(R)ウェーハや薄ウェーハ対応モデル
「TV-200T」は、TAIKO(R)ウェーハや薄ウェーハなど、外周部に段差や特殊形状を有するウェーハに対応した真空マウンターです。上部メンブレンを用いた貼付方式を採用することで、ウェーハ中心部から外周方向へ均一にテープを貼り付ける「ラジアル貼付」を実現します。これにより、TAIKO(R)ウェーハ特有の外周部への応力集中や貼付ムラを抑制し、安定したマウンティング品質を提供します。 【対応ウェーハサイズ】 TV-200T：200mm（8インチ） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
基本情報
■主な特長 メンブレン貼付方式 柔軟性のあるメンブレンを介して圧力を伝えることで、段差や曲面を有するウェーハにも均一に追従。 ラジアル貼付 中心から外周へ貼付を進めることで、気泡混入や局所的な応力を低減。 ウェーハへの低ダメージ設計 外周部への機械的ストレスを抑え、薄ウェーハやTAIKO(R)ウェーハの割れ・欠けリスクを低減。 真空貼付による高い再現性 真空圧とプロセスタイムを数値管理し、安定した工程再現性を確保。 ■主な仕様 フレームサイズ：DTF2-8-1 装置寸法：360mm(W)×600mm(D)×815mm(H) 重量：29kg 必要到達真空（絶対圧）：0.2 kPa 推奨排気速度：約320 L/min（19 m³/h） 必要エア圧：0.4～0.6 MPa 入力電源：AC100V 50/60Hz
価格帯
納期
型番・ブランド名
TV-200T
用途／実績例
【TAIKO(R)用+真空貼付け】TAIKO(R)ウェーハや薄ウェーハなど、外周部に段差や特殊形状を有するウェーハに対応
ラインアップ（4）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| TV-150 / TV-200 / TV-300 | 標準モデル |
| TV-200H / TH-300H | 加熱モデル |
| TV-200T | TAIKO(R) ウェーハ対応モデル |
| TV-200TH | TAIKO(R) ウェーハ・加熱対応モデル |
カタログ（3）
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この製品に関するニュース（2）
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」4タイプ、7モデルの販売を開始しました。
新製品「真空マウンター」シリーズ製品情報を公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。 詳しい製品情報は、各製品詳細ページをご覧ください。
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真空マウンター「高性能ダイシング周辺機器」カタログを掲載しました。
新製品「真空マウンター」シリーズカタログを公開しました。 研究開発用途から量産前工程まで、幅広いプロセスに対応可能な汎用モデルから TAIKO(R)用、薄ウェーハ・高付加価値デバイスなど、プロセス難易度の高い工程向けの最上位モデルまで “4つのシリーズ、合計7モデルをラインナップしております。 ■真空貼付け（TV-150／TV-200／TV-300） ■加熱+真空貼付け（TV-200H／TV-300H） ■TAIKO(R)用+真空貼付け（TV-200T） ■TAIKO(R)用+加熱+真空貼付け（TV-200TH） ※TAIKO(R)は株式会社ディスコの日本及びその他の国における登録商標です。
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