スパッタ装置
スパッタ装置
当社が取り扱う「スパッタ装置」をご紹介します。
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【オーダーメイド製作実績】スパッタリング装置
「有機EL用GB付きスパッタリング装置」や「研究開発用IBS装置」などの実績を保有！
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ロードロック式スパッタリング装置
CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！
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多元スパッタリング装置
基板温度900℃を実現！基板ステージに3軸機構を搭載し、均一な膜厚分布を実現
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立体物用スパッタリング装置
立体物成膜での高いカバレッジを実現！ 最大3台のスパッタカソードを搭載し、金属膜、酸化膜等の積層成膜が可能です！
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【開発者目線を徹底】各種装置のオーダーメイド製造承ります
相談だけでも歓迎！設計から製作、組立まで自社で一貫して対応！各種装置製造でお困りの方は是非ご相談ください。※製作事例資料進呈中
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High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置
半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能！
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『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』
半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで高速かつ安定した連続成膜が可能！
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スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置
省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！
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バレル/ドラム型粉体スパッタリング装置
粉体凝集対策可能！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！
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