真空蒸着装置
真空蒸着装置
当社が取り扱う「真空蒸着装置」をご紹介します。
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ロードロック式EB蒸着装置
好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセスに対応
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【オーダーメイド製作実績】各種真空装置
デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保有
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【オーダーメイド製作実績】蒸着装置
「2段階複合Pt成膜装置」などの実績を保有！ご用命の際はお問い合わせください
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有機EL用蒸着装置
プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択できます！
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Epitaxial-EB蒸着装置
最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成膜に適した製品です。
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