ウエハー自動洗浄装置
エッチング装置
スピン洗浄装置
スピンドライヤー
その他洗浄装置
ワイヤーソー
スパッタ装置
真空蒸着装置
アニール装置
CVD装置
ドライエッチング装置
CO2洗浄機
オーダーメイド製作実績
コーティング装置
合成装置
乾燥炉
当社が取り扱う「コーティング装置」のご紹介です。
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DLCコーティング装置
広範な膜特性の制御可能!基板加熱源は水冷型と加熱型から選択いただけます
最終更新日 2025年06月25日
スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置
省スペースで大容量!各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能!