スピン洗浄装置

スピン洗浄装置
スピン洗浄装置のご紹介です。
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枚葉式スピンスプレー洗浄装置 SRC-15001
2流体ノズルより高圧純水をスプレー、メガソニックによる仕上げ洗浄!
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【デモ機貸出中!】卓上型スピンコーター
省スペースなスピンコーター 排気装置もこの一台に内包 インナーカップ方式
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スピン洗浄装置 スプレー現像装置 SD-8004型
自動および手動運転により、現像、リンス、水洗、スピン乾燥を行います!
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します!
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター HMSC-300A
均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています!
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター JASC-200型
対象ワーク:2"□~5"□基板又はφ2"~φ5"基板に適用!
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スピン洗浄装置 フルオートスピンナー JASC-150型
現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応!
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型
300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式!
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-300型
φ2"~φ6"基板対応卓上型マニュアル式!ディスペンサー付
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スピン洗浄装置 スピナー MSC-200型
小型コンパクト・オプションにて10,000rpmに可能!
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター
【デモ機貸し出し可能!】300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式です
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スピン洗浄装置 スプレー現像装置
【デモ機貸し出し可能!】一度に数枚のワークを処理できます
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スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター
【デモ機貸し出し可能!】N2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で行います
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スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター
【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置
【デモ機貸し出し可能!】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
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