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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター MSC-500型

300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式!

MSC-500型は、300mm□ガラス基板対応の卓上型マニュアル式スピンコーターです。条件設定は操作パネル上のタッチパネルで行います。各処理モード中はタッチパネル上に各モードが表示されます。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

関連リンク - http://www.japancreate.co.jp/

基本情報

【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 【仕様】 ○外形寸法:W550×D550×H358 ○モーター:750W φ3 ACサーボモーター 200V ○回転数:0~3000rpm (MAX5000rpmはオプション) ○回転数表示:デジタル表示 ○回転精度:±1rpm ○プログラム数:10プログラム50ステップ ○試料台:真空吸着-50Kpa (真空ポンプはオプション) ○カップ:SUS304 φ500絞り加工 ○排気/廃液:排気はオプション、廃液はカップ止め ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

価格情報

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納期

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用途/実績例

●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。

取り扱い会社

ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。

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