ウエハー自動洗浄装置
エッチング装置
スピン洗浄装置
スピンドライヤー
その他洗浄装置
ワイヤーソー
スパッタ装置
真空蒸着装置
アニール装置
CVD装置
ドライエッチング装置
CO2洗浄機
オーダーメイド製作実績
コーティング装置
合成装置
乾燥炉
当社が取り扱う「アニール装置」をご紹介します。
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RTA装置
トレイ搬送にも対応可能!優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現
最終更新日 2025年06月25日
【オーダーメイド製作実績】各種真空装置
デモ機にてサンプル処理を実施!「研究開発用アニール装置」などの実績を保有
加圧RTA装置
基板加熱温度最高1000℃!基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減!