RTA装置

トレイ搬送にも対応可能！優れた基板温度分布およびガスフロー方式を実現

最終更新日 2025年07月02日

【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保有

最終更新日 2025年07月02日

加圧RTA装置

基板加熱温度最高1000℃！基板表面加熱プロセス特有の元素抜けを軽減！

最終更新日 2025年07月02日