ドライエッチング装置

RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減

最終更新日 2025年06月25日

【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置

「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています

最終更新日 2025年06月25日

アッシング装置

エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れたコンパクトな装置です！

最終更新日 2025年06月25日