CVD装置
CVD装置
当社が取り扱う「CVD装置」をご紹介します。
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CVD装置
優れた膜厚分布および再現性を実現！マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作可能
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【オーダーメイド製作実績】CVD装置
「金属容器用プラズマCVD装置」「ICP型MOCVD装置」などの実績を保有しています！
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PETボトル用プラズマCVD装置
3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢献します
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DLCコーティング装置
広範な膜特性の制御可能！基板加熱源は水冷型と加熱型から選択いただけます
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酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置
広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します
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立体物用プラズマCVD装置
高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用しています
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スクリュー攪拌型粉体スパッタリング装置
省スペースで大容量！各種ご要望に合わせたオーダーメイドも製作可能！
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