エッチング装置
エッチング装置
エッチング装置のご紹介です。
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枚葉式ウエハ処理装置『自動エッチング装置』
装置のセンターに3軸多関節クリーンロボットを設置しウエハ搬送！
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処理装置の総合カタログ「枚葉式ウエハ処理装置総合カタログ」
【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ
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エッチング装置 半自動ウエハーエッチング装置
【デモ機貸し出し可能！】カセットで前処理を行った後、専用バレルで自動エッチングを行います
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エッチング装置 急速エッチング装置
【デモ機貸し出し可能！】ウエハーは専用のバレルに装填され処理されます
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エッチング装置 ウエハ洗浄装置
【デモ機貸し出し可能！】処理槽からリンス槽へ円弧搬送しウエハーを処理する半自動装置
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エッチング装置 スプレー式ウエハーエッチング装置
【デモ機貸し出し可能！】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾燥までを処理する装置です
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ドライエッチング装置
RIEモードとDPモードの切り替えが可能！特殊表面処理によるメタルコンタミ低減
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【オーダーメイド製作実績】ドライエッチング装置
「XeF2エッチング装置」「バッチ式アッシング装置」などの実績を保有しています
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