スピン洗浄装置 フルオートスピンナー JASC-150型
現像液温度精度±1℃。φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応！
基本情報
【特徴】 ○現像液温度精度±1℃ ○φ4"φ5"φ6"を治具交換にて対応 ○高精度のロボット採用により、高スループット化実現 【仕様】 ○対象ワーク：Siウェハー、GaAs、ガラスマスク、液晶ガラス、セラミック ○ワークサイズ：φ2"～□150mm ○チャンバー径、材質：φ400mm SUS304 ○スピンモーター：ACサーボモーター（200W） ○回転数範囲：0～5000rpm （オプション最大8000rpm） ○回転数表示：デジタル表示 ○本体材質、寸法：SS＋焼き付け塗装 W1100×D1000×H1440mm ○レシピ設定：タッチ画面による簡易レシピ設定 ○重量：300kg ○電源：AC100V 1.5KVa 50/60Hz±10％以内 ○付帯設備 →ドライエアー：5kgf/cm²以上 φ6mmワンタッチ継ぎ手 →薬液、純水：2kgf/cm²以上 φ6mmスウェージロック →N2：5kgf/cm²以上 φ6mmスウェージロック ○オプション：ブラシノズル関係、薬液温調器、ノズル、消化器等 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
