スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置
【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます
基本情報
【特徴】 ○カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、 スプレー現像を自動実行 ○工程の選択も可能 ○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業可能 ○工程間の搬送は多関節ロボットを採用 ○対象ワーク：200mm□基板又はφ300mm基板に適用 【仕様】 ○外形(mm)：W2300×D2300×H1850 ○ローダー：1カセット収納 ○カップ：SUS304テフロンコート ○ディスペンサー：空圧式ダイアフラム方式 ○圧送タンク：レジストボトル用 ○カップ自動洗浄：アセトン、ベローズポンプ ○気液分離タンク：SUS304 ○露光機：オプション ○現像用カップ：SUS304テフロンコート ○ベーク炉：ホットプレート、真空チャンバー ○回転数：MAX3000rpm ○モーター：400W AC サーボモーター ○搬送機：多関節ロボット ○ハンガー：エッジクランプ方式 ○ベーク：ホットプレート3段、搬送シャトル方式 ○アンローダー：1カセット収納 ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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取り扱い会社
ジャパンクリエイトは、多様化する半導体産業に高精度化・省力化・微細化に対応すべく最先端技術にチャレンジして参りました。 私たちは、ハイテクノロジーに無限の可能性を求めて、ユーザーのニーズにマッチした確かなノウハウを独自性で創造します。 自らハイレベルな技術を目指して歩み続けます。
